中国激光, 2017, 44 (1): 0102007, 网络出版: 2017-01-10   

飞秒激光诱导金属银纳米布线加工精度的研究 下载: 1237次

Processing Precision of Femtosecond Laser Induced Silver Nanowiring
作者单位
吉林大学电子科学与工程学院, 吉林 长春 130012
图 & 表

图 1. 不同功率下三种表面活性剂布线的(a)~(l)SEM照片和(m)线宽变化图

Fig. 1. (a)~(l) SEM images and (m) width of silver line prepared with three surfactants under different laser power

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图 2. 不同曝光时间下柠檬酸钠布线的(a)~(f)SEM照片和(g)线宽变化图

Fig. 2. (a)~(f) SEM images and (g) width of silver line prepared with sodium citrate under different exposure time

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图 3. 不同浓度下柠檬酸钠布线的(a)~(d)SEM照片和(e)线宽变化图

Fig. 3. (a)~(d) SEM images and (e) width of silver line prepared with sodium citrate under different concentration

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图 4. 银线电导率测试。(a) 两个电极之间银线的共聚焦显微镜照片; (b) 银线的高度; (c) 银线的电压-电流曲线

Fig. 4. Resistivity characterization of patterned silver microwire. (a) Confocal laser scanning microscope image of silver microwire between two electrodes; (b) height profile of the silver microwire; (c) current-voltage curve of the silver microwire

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图 5. 银微结构的 SEM 照片

Fig. 5. SEM images of silver microstructures

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图 6. 银微反应器催化H2O2分解

Fig. 6. Catalytic decomposition of H2O2 inside a silver microreactor

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柳森, 王欢, 张永来. 飞秒激光诱导金属银纳米布线加工精度的研究[J]. 中国激光, 2017, 44(1): 0102007. Liu Sen, Wang Huan, Zhang Yonglai. Processing Precision of Femtosecond Laser Induced Silver Nanowiring[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(1): 0102007.

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