应用激光, 2003, 23 (3): 144, 网络出版: 2006-05-10
准分子激光直写二维图形加工
On the excimer laser direct 2D etching
基本信息
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| 中图分类号: | TG66 |
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| 网络出版日期: | 2006-05-10 |
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魏仁选, 姜德生. 准分子激光直写二维图形加工[J]. 应用激光, 2003, 23(3): 144. 魏仁选, 姜德生. On the excimer laser direct 2D etching[J]. APPLIED LASER, 2003, 23(3): 144.
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