应用激光, 2003, 23 (3): 144, 网络出版: 2006-05-10   

准分子激光直写二维图形加工

On the excimer laser direct 2D etching
作者单位
武汉理工大学,光纤传感技术研究中心,国家光纤传感技术工业性实验基地,武汉,430070
引用该论文

魏仁选, 姜德生. 准分子激光直写二维图形加工[J]. 应用激光, 2003, 23(3): 144.

魏仁选, 姜德生. On the excimer laser direct 2D etching[J]. APPLIED LASER, 2003, 23(3): 144.

参考文献

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[4] A. Braun,K. Zimmer, B. Hosselbarth, J. Meinhardt, F. Bigl, R. Mehnert. Excimer laser micromachining and replication of 3D optical Surfaces, Applied Surface Science, 127-129(1998): 911-914

[5] H. Ohji, P.J. French, K. Tsutsumi. Fabrication of mechanical structures in p-type silicon using electrochemical etching, Sensors and Actuators, 82 (2000): 254

魏仁选, 姜德生. 准分子激光直写二维图形加工[J]. 应用激光, 2003, 23(3): 144. 魏仁选, 姜德生. On the excimer laser direct 2D etching[J]. APPLIED LASER, 2003, 23(3): 144.

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