激光技术, 2009, 33 (1): 100, 网络出版: 2010-01-22
基于光纤信号传输的准分子激光器控制系统
Development of controller for excimer laser based on optical fiber
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | TN248.2+2 |
| 栏目: | 激光物理与激光器件 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金资助课题(60478025)、江苏省高技术研究计划资助项目(BG2007015)。 |
| 收稿日期: | 2007-10-09 |
| 修改稿日期: | 2008-07-24 |
| 网络出版日期: | 2010-01-22 |
| 通讯作者: | 史萌萌 (hjiang@aiofm.ac.cn) |
| 备注: | -- |
史萌萌, 江海河, 邓国庆, 贺龙海. 基于光纤信号传输的准分子激光器控制系统[J]. 激光技术, 2009, 33(1): 100. SHI Meng-meng, JIANG Hai-he, DENG Guo-qing, HE Long-hai. Development of controller for excimer laser based on optical fiber[J]. Laser Technology, 2009, 33(1): 100.
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