中国激光, 2019, 46 (1): 0104009, 网络出版: 2019-01-27   

基于双波长法补偿空气折射率的激光追踪系统ZEMAX仿真方法 下载: 1140次

ZEMAX Simulation Methodof Laser Tracing System Using a Dual-Wavelength Method to Compensate for the Refractive Index of Air
作者单位
北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心, 北京 100124
图 & 表

图 1. 基于双波长法补偿空气折射率的激光追踪测量光学系统原理图

Fig. 1. Schematic of laser tracing measurement optical system based on dual-wavelength method to compensate air refractive index

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图 2. 基于双波长法补偿空气折射率的激光追踪测量光学系统的具体建模流程

Fig. 2. Specific modeling process of laser tracing measurement optical system based on dual-wavelength method to compensate air refractive index

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图 3. 基于双波长法补偿空气折射率的激光追踪测量光学系统的仿真结构图

Fig. 3. Simulation structure diagram of laser tracing measurement optical system for compensating air refractive index based on dual-wavelength method

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图 4. 基于双波长法补偿空气折射率的激光追踪测量光学系统的仿真干涉图。(a)由laser1得到的干涉信号;(b)由laser2得到的干涉信号

Fig. 4. Simulation interferogram of laser tracking measurement optical system based on dual-wavelength method for compensating air refractive index. (a) Interference signal obtained by laser1; (b) interference signal obtained by laser2

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图 5. 单波长系统和双波长系统测得的猫眼反射镜的位移值和理想值的对比图

Fig. 5. Comparison of displacement and ideal values of cat's eye reflector measured by single-wavelength system and dual-wavelength system

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图 6. 单波长系统和双波长系统测量得到的猫眼反射镜的位移值和理想值的相对误差图

Fig. 6. Relative error diagram of displacement and ideal value of cat's eye reflector measured by single-wavelength system and dual-wavelength system

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图 7. PBS性能非理想对干涉条纹对比度的影响。(a) p光透射率非理想; (b) s光反射率非理想

Fig. 7. Effect of non-ideal PBS performance on visibility of fringe pattern. (a) Non-ideal p-light transmittance; (b) non-ideal s-light reflectance

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图 8. 不同位置处PBS透射率非理想对光学系统能量的影响

Fig. 8. Effect of non-ideal PBS transmittance on optical system energy at different locations

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表 1BS1和BS3的分光比固定,BS2的分光比不同时,系统干涉条纹的对比度

Table1. Visibility of fringe pattern of the system under different spectral ratio of BS2 with the fixed spectral ratio of BS1 and BS3

Splitting ratio of BS22∶83∶74∶65∶56∶47∶38∶2
KPD10.6140.8140.9330.9880.9990.9840.952
KPD20.5750.7750.9040.9730.9990.9950.973

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表 2BS2和BS3的分光比固定,BS1的分光比不同时,系统干涉条纹的对比度

Table2. Visibility of fringe pattern of the system under different spectral ratio of BS1 with the fixed spectral ratio of BS2 and BS3

Splitting ratio of BS12∶83∶74∶65∶56∶47∶38∶2
KPD10.9880.9170.8230.7240.6240.5200.410
KPD20.9730.8850.7840.6840.5850.4850.380

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陈洪芳, 汤亮, 石照耀, 宋辉旭, 孙衍强. 基于双波长法补偿空气折射率的激光追踪系统ZEMAX仿真方法[J]. 中国激光, 2019, 46(1): 0104009. Chen Hongfang, Tang Liang, Shi Zhaoyao, Song Huixu, Sun Yanqiang. ZEMAX Simulation Methodof Laser Tracing System Using a Dual-Wavelength Method to Compensate for the Refractive Index of Air[J]. Chinese Journal of Lasers, 2019, 46(1): 0104009.

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