透红外硫系玻璃微压印工艺的仿真研究 | 光学仪器 -- 中国光学期刊网

光学仪器, 2011, 33 (2): 83, 网络出版: 2012-12-06

透红外硫系玻璃微压印工艺的仿真研究

Simulation study on micro-molding process of infrared chalcogenide glass

沈萍刘卫国

作者单位

西安工业大学微光电系统研究所,陕西西安710032

硫系玻璃微压印填充率应力松弛 chalcogenide glass micro-molding filling rate stress relaxation

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