典型工艺缺陷对光波导特性的影响研究

范哲珲; 王健

光电技术应用, 2015, 30 (6): 26, 网络出版: 2016-01-20

典型工艺缺陷对光波导特性的影响研究

Research on Effect of Typical Process Defect on Optical Waveguide Characteristic

范哲珲 ¹王健 ²

作者单位

¹ 北京交通大学理学院发光与光信息技术教育部重点实验室, 北京 100044

² 光信息科学与技术研究所, 北京 100044

图 & 表

范哲珲, 王健. 典型工艺缺陷对光波导特性的影响研究[J]. 光电技术应用, 2015, 30(6): 26. FAN Zhe-hui, WANG Jian. Research on Effect of Typical Process Defect on Optical Waveguide Characteristic[J]. Electro-Optic Technology Application, 2015, 30(6): 26.