半导体光电, 2020, 41 (4): 517, 网络出版: 2020-08-18
预电离效应对ArF准分子激光特性的影响分析
Effects of Preionization on Properties of ArF Excimer Laser
基本信息
| DOI: | 10.16818/j.issn1001-5868.2020.04.013 |
| 中图分类号: | TN248.2 |
| 栏目: | 材料、结构及工艺 |
| 项目基金: | 国家科技重大专项项目(2013ZX02202). |
| 收稿日期: | 2020-01-02 |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2020-08-18 |
| 通讯作者: | 赵江山 (zhaojiangshan@aoe.ac.cn) |
| 备注: | -- |
苏丹, 赵江山, 王倩. 预电离效应对ArF准分子激光特性的影响分析[J]. 半导体光电, 2020, 41(4): 517. SU Dan, ZHAO Jiangshan, WANG Qian. Effects of Preionization on Properties of ArF Excimer Laser[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2020, 41(4): 517.
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