红外与激光工程, 2005, 34 (1): 54, 网络出版: 2006-05-25   

近柱面干涉检测研究

Interferometric measurement of near-cylindrical surfaces
作者单位
1 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033
2 中国科学院,研究生院,北京,100039
摘要
采用计算机仿真技术模拟了近柱非球面的正入射式检测装置.获取并分析了理想近柱面和理想柱透镜下的干涉图.讨论了降低干涉图P-V值的方法以及不同面形的近柱面在该装置下的可检性.
Abstract
In this paper,the testing set for near-cylindrical surfaces is simulated by computer.The interferograms under ideal near-cylindrical surfaces and ideal cylindrical lens are got and analyzed. The method to reduce P-V value of the interferograms and the testability of all kinds of near-cylindrical surfaces under the testing set are discussed.
参考文献

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谢本超, 卢振武, 李凤有, 孙强. 近柱面干涉检测研究[J]. 红外与激光工程, 2005, 34(1): 54. 谢本超, 卢振武, 李凤有, 孙强. Interferometric measurement of near-cylindrical surfaces[J]. Infrared and Laser Engineering, 2005, 34(1): 54.

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