光学 精密工程, 2014, 22 (12): 3354, 网络出版: 2015-01-13
均压槽对空气静压轴承微振动的影响
Effect of equalizing groove on small vibration of aerostatic bearings
基本信息
| DOI: | 10.3788/ope.20142212.3354 |
| 中图分类号: | TH133.36 |
| 栏目: | 微纳技术与精密机械 |
| 项目基金: | 国家重大科研仪器设备开发专项基金资助项目(No.61227901) |
| 收稿日期: | 2014-04-16 |
| 修改稿日期: | 2014-05-08 |
| 网络出版日期: | 2015-01-13 |
| 通讯作者: | 陈琦 (chenqi@ciomp.ac.cn) |
| 备注: | -- |
陈琦, 陈斌, 蔡黎明. 均压槽对空气静压轴承微振动的影响[J]. 光学 精密工程, 2014, 22(12): 3354. CHEN Qi, CHEN Bin, CAI Li-ming. Effect of equalizing groove on small vibration of aerostatic bearings[J]. Optics and Precision Engineering, 2014, 22(12): 3354.
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