压电倾斜镜传递函数辨识方法

周睿; 张强; 甘永东; 沈锋

doi:doi:10.3788/CJL202047.1105002

中国激光, 2020, 47 (11): 1105002, 网络出版: 2020-11-02

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Transfer Function Identification Method for Fast-Steering Mirror Driven by PZT

周睿 ¹张强 ^1,*甘永东 ^2,3沈锋 ^2,3

作者单位

¹ 中国民用航空飞行学院空中交通管理学院, 四川广汉 618307

² 中国科学院自适应光学重点实验室, 四川成都 610209

³ 中国科学院光电技术研究所, 四川成都 610209

图 & 表

图 1. 压电倾斜镜结构

Fig. 1. Structure of fast-steering mirror driven by PZT

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图 2. 基于GA的参数辨识流程图

Fig. 2. Flowchart of parameter identification based on GA

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图 3. 压电倾斜镜频率响应测试结构

Fig. 3. Structure of frequency response test of fast-steering mirror driven by PZT

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图 4. 压电倾斜镜频率传递函数辨识结果。(a)幅度响应;(b)相位响应

Fig. 4. Identification result about frequency transfer function of fast-steering mirror driven by PZT. (a) Amplitude response; (b) phase response

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图 5. 光束抖动控制实验原理框图

Fig. 5. Block diagram of beam jitter control experiment principle

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图 6. 光束抖动的积分功率谱曲线

Fig. 6. Integral power spectrum curve of beam jitter

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表 1谐振点的频率偏移误差和幅度响应误差

Table1. Frequency offset error and amplitude response error of resonance points

Number ofresonance points	Measuredfrequency /Hz	Measuredamplitude /dB	Fittedfrequency /Hz	Fittedamplitude /dB	Frequencyerror /Hz	Amplitudeerror /dB
1	286.3	26.5	282.5	27.2	3.8	0.7
2	385.0	-9.9	383.8	-8.8	1.2	1.1
3	406.4	0.1	413.8	-0.6	7.4	0.5

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周睿, 张强, 甘永东, 沈锋. 压电倾斜镜传递函数辨识方法[J]. 中国激光, 2020, 47(11): 1105002. Zhou Rui, Zhang Qiang, Gan Yongdong, Shen Feng. Transfer Function Identification Method for Fast-Steering Mirror Driven by PZT[J]. Chinese Journal of Lasers, 2020, 47(11): 1105002.

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图 1. 压电倾斜镜结构

Fig. 1. Structure of fast-steering mirror driven by PZT

图 2. 基于GA的参数辨识流程图

Fig. 2. Flowchart of parameter identification based on GA

图 3. 压电倾斜镜频率响应测试结构

Fig. 3. Structure of frequency response test of fast-steering mirror driven by PZT

图 4. 压电倾斜镜频率传递函数辨识结果。(a)幅度响应;(b)相位响应

Fig. 4. Identification result about frequency transfer function of fast-steering mirror driven by PZT. (a) Amplitude response; (b) phase response

图 5. 光束抖动控制实验原理框图

Fig. 5. Block diagram of beam jitter control experiment principle

图 6. 光束抖动的积分功率谱曲线

Fig. 6. Integral power spectrum curve of beam jitter

表 1谐振点的频率偏移误差和幅度响应误差

Table1. Frequency offset error and amplitude response error of resonance points

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图 1. 压电倾斜镜结构

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图 2. 基于GA的参数辨识流程图

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图 3. 压电倾斜镜频率响应测试结构

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图 4. 压电倾斜镜频率传递函数辨识结果。(a)幅度响应;(b)相位响应

Fig. 4. Identification result about frequency transfer function of fast-steering mirror driven by PZT. (a) Amplitude response; (b) phase response

图 5. 光束抖动控制实验原理框图

Fig. 5. Block diagram of beam jitter control experiment principle

图 6. 光束抖动的积分功率谱曲线

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