基于遗传算法的双层亚波长金属光栅优化 
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Optimization of Bilayer Sub-Wavelength Metallic Grating Based on Genetic Algorithm
大连理工大学机械工程学院, 辽宁 大连 116023
图 & 表
图 1. 双层亚波长金属光栅结构
Fig. 1. Schematic of bilayer sub-wavelength metallic grating structure
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图 2. 个体的染色体结构
Fig. 2. Chromosome structure of individual
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图 3. GA优化流程图
Fig. 3. Flowchart of optimization of GA
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图 4. 适应性函数与迭代次数之间的关系
Fig. 4. Relationship between fitness function and iteration number
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图 5. 光栅TM透射率特性
Fig. 5. TM transmittance characteristics of gratings
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图 6. 光栅消光比特性
Fig. 6. Extinction ratio characteristics of gratings
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图 7. 工艺容差分析。(a)(c)(e)(g) TM透射率;(b)(d)(f)(h)消光比
Fig. 7. Analyses of process tolerance. (a)(c)(e)(g) TM transmittance; (b)(d)(f)(h) extinction ratio
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表 1光栅的结构参数
Table1. Structural parameters of gratings
| Structure | p /nm | f | t /nm | h /nm | Residual layer /nm | nc |
|---|
| Optimized structure | 240 | 0.7 | 40 | 210 | 0 | 2.1 | | Conventional structure[18] | 200 | 0.375 | 70 | 180 | 27.5 | 1.6 |
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安超, 褚金奎, 张然. 基于遗传算法的双层亚波长金属光栅优化[J]. 激光与光电子学进展, 2019, 56(22): 220501. Chao An, Jinkui Chu, Ran Zhang. Optimization of Bilayer Sub-Wavelength Metallic Grating Based on Genetic Algorithm[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2019, 56(22): 220501.
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