光学技术, 2018, 44 (3): 300, 网络出版: 2018-06-09
多波长表面形貌测量系统中波长校准方法
The wavelength calibration method for multi-wavelength surface topography measurement system
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TH742 |
栏目: | 光学测量 |
项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(51275157), 精密测试技术及仪器国家重点实验室开放课题项目(PIL1602) |
收稿日期: | 2017-07-20 |
修改稿日期: | 2017-09-05 |
网络出版日期: | 2018-06-09 |
通讯作者: | 杨光明 (1142904484@qq.com) |
备注: | -- |
杨练根, 杨光明, 王选择. 多波长表面形貌测量系统中波长校准方法[J]. 光学技术, 2018, 44(3): 300. YANG Liangen, YANG Guangming, WANG Xuanze. The wavelength calibration method for multi-wavelength surface topography measurement system[J]. Optical Technique, 2018, 44(3): 300.