光学技术, 2018, 44 (3): 300, 网络出版: 2018-06-09   

多波长表面形貌测量系统中波长校准方法

The wavelength calibration method for multi-wavelength surface topography measurement system
作者单位
1 湖北工业大学 机械工程学院, 湖北 武汉 430068
2 湖北省现代制造质量工程重点实验室, 湖北 武汉 430068
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杨练根, 杨光明, 王选择. 多波长表面形貌测量系统中波长校准方法[J]. 光学技术, 2018, 44(3): 300. YANG Liangen, YANG Guangming, WANG Xuanze. The wavelength calibration method for multi-wavelength surface topography measurement system[J]. Optical Technique, 2018, 44(3): 300.

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