光学 精密工程, 2014, 22 (3): 656, 网络出版: 2014-04-24
基于硅悬臂高阶谐振的动态原子力显微镜的快速扫描
High speed scanning for dynamic atomic force microscope based on higher-order resonance of silicon cantilever
基本信息
| DOI: | 10.3788/ope.20142203.0656 |
| 中图分类号: | TH742.9 |
| 栏目: | 微纳技术与精密机械 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(No.50975075) |
| 收稿日期: | 2013-09-20 |
| 修改稿日期: | 2013-11-05 |
| 网络出版日期: | 2014-04-24 |
| 通讯作者: | 黄强先 (huangqx@hfut.edu.cn) |
| 备注: | -- |
黄强先, 尤焕杰, 袁丹, 赵阳, 胡小娟. 基于硅悬臂高阶谐振的动态原子力显微镜的快速扫描[J]. 光学 精密工程, 2014, 22(3): 656. HUANG Qiang-xian, YOU Huan-jie, YUAN Dan, ZHAO Yang, HU Xiao-juan. High speed scanning for dynamic atomic force microscope based on higher-order resonance of silicon cantilever[J]. Optics and Precision Engineering, 2014, 22(3): 656.
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