强激光与粒子束, 2014, 26 (11): 113003, 网络出版: 2014-12-08   

3mm回旋行波管微波等离子体化学气相沉积金刚石输出窗

Microwave plasma chemical vapor deposition diamond output window for 3mm gyro-traveling wave tube
作者单位
北京真空电子技术研究所 微波电真空器件国家级重点实验室, 北京 100015
基本信息
DOI: 10.11884/hplpb201426.113003
中图分类号: TN127
栏目: 高功率微波
项目基金: 国家科技计划课题国际热核聚变实验堆项目(2013GB110003)
收稿日期: 2014-06-30
修改稿日期: 2014-08-19
网络出版日期: 2014-12-08
通讯作者: 曾旭 (zengxu1108@163.com)
备注: --

曾旭, 王峨锋, 李莉莉, 冯进军. 3mm回旋行波管微波等离子体化学气相沉积金刚石输出窗[J]. 强激光与粒子束, 2014, 26(11): 113003. Zeng Xu, Wang Efeng, Li Lili, Feng Jinjun. Microwave plasma chemical vapor deposition diamond output window for 3mm gyro-traveling wave tube[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014, 26(11): 113003.

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