强激光与粒子束, 2014, 26 (11): 113003, 网络出版: 2014-12-08   

3mm回旋行波管微波等离子体化学气相沉积金刚石输出窗

Microwave plasma chemical vapor deposition diamond output window for 3mm gyro-traveling wave tube
作者单位
北京真空电子技术研究所 微波电真空器件国家级重点实验室, 北京 100015
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曾旭, 王峨锋, 李莉莉, 冯进军. 3mm回旋行波管微波等离子体化学气相沉积金刚石输出窗[J]. 强激光与粒子束, 2014, 26(11): 113003. Zeng Xu, Wang Efeng, Li Lili, Feng Jinjun. Microwave plasma chemical vapor deposition diamond output window for 3mm gyro-traveling wave tube[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014, 26(11): 113003.

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