熔石英表面杂质元素在酸蚀过程中的变化

殷玉春; 李玉香; 严鸿维; 袁晓东; 白阳; 郑万国

doi:doi:10.11884/hplpb201628.151266

强激光与粒子束, 2016, 28 (8): 28081004, 网络出版: 2016-07-26

熔石英表面杂质元素在酸蚀过程中的变化

Change of surface impurity elements in the process of acid etching on fused silica

殷玉春 ^1,2,*李玉香 ¹严鸿维 ²袁晓东 ²白阳 ²郑万国 ²

作者单位

¹ 西南科技大学材料科学与工程学院, 四川绵阳 621010

² 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 四川绵阳 621900

补充材料

殷玉春, 李玉香, 严鸿维, 袁晓东, 白阳, 郑万国. 熔石英表面杂质元素在酸蚀过程中的变化[J]. 强激光与粒子束, 2016, 28(8): 28081004. Yin Yuchun, Li Yuxiang, Yan Hongwei, Yuan Xiaodong, Bai Yang, Zheng Wanguo. Change of surface impurity elements in the process of acid etching on fused silica[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2016, 28(8): 28081004.