液晶与显示, 2018, 33 (3): 208, 网络出版: 2018-05-29   

TFT-LCD制造工艺中金属或金属复合膜层坡度角的研究

TFT-LCD manufacture technology metal or metal composite film layer profile
作者单位
1 北京京东方光电科技有限公司, 北京 100176
2 北京京东方显示技术有限公司, 北京 100176
引用该论文

范学丽, 靖瑞宽, 王晏酩, 靳腾, 董建杰, 许永昌, 徐斌, 章志兴, 高矿. TFT-LCD制造工艺中金属或金属复合膜层坡度角的研究[J]. 液晶与显示, 2018, 33(3): 208.

FAN Xue-li, JING Rui-kuan, WANG Yan-ming, JIN Teng, DONG Jian-jie, XU Yong-chang, XU Bin, Zhang Zhi-xing, GAO Kuang. TFT-LCD manufacture technology metal or metal composite film layer profile[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2018, 33(3): 208.

参考文献

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