TFT-LCD制造工艺中金属或金属复合膜层坡度角的研究

范学丽; 靖瑞宽; 王晏酩; 靳腾; 董建杰; 许永昌; 徐斌; 章志兴; 高矿

doi:doi:10.3788/yjyxs20183303.0208

液晶与显示, 2018, 33 (3): 208, 网络出版: 2018-05-29

TFT-LCD制造工艺中金属或金属复合膜层坡度角的研究

TFT-LCD manufacture technology metal or metal composite film layer profile

范学丽 ^1,*靖瑞宽 ¹王晏酩 ¹靳腾 ¹董建杰 ¹许永昌 ¹徐斌 ¹章志兴 ¹高矿 ²

作者单位

¹ 北京京东方光电科技有限公司, 北京 100176

² 北京京东方显示技术有限公司, 北京 100176

补充材料

范学丽, 靖瑞宽, 王晏酩, 靳腾, 董建杰, 许永昌, 徐斌, 章志兴, 高矿. TFT-LCD制造工艺中金属或金属复合膜层坡度角的研究[J]. 液晶与显示, 2018, 33(3): 208. FAN Xue-li, JING Rui-kuan, WANG Yan-ming, JIN Teng, DONG Jian-jie, XU Yong-chang, XU Bin, Zhang Zhi-xing, GAO Kuang. TFT-LCD manufacture technology metal or metal composite film layer profile[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2018, 33(3): 208.