椭偏法表征四面体非晶碳薄膜的化学键结构

李晓伟; 周毅; 孙丽丽; 汪爱英

doi:doi:10.3788/aos201232.1031005

光学学报, 2012, 32 (10): 1031005, 网络出版: 2012-07-17

椭偏法表征四面体非晶碳薄膜的化学键结构

Determination of Chemical Bond of Tetrahedral Amorphous Carbon Films by an Ellipsometry Approach

李晓伟 ^*周毅孙丽丽汪爱英

作者单位

中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波市海洋防护材料与工程技术重点实验室, 浙江宁波 315201

引用该论文

李晓伟, 周毅, 孙丽丽, 汪爱英. 椭偏法表征四面体非晶碳薄膜的化学键结构[J]. 光学学报, 2012, 32(10): 1031005.

Li Xiaowei, Zhou Yi, Sun Lili, Wang Aiying. Determination of Chemical Bond of Tetrahedral Amorphous Carbon Films by an Ellipsometry Approach[J]. Acta Optica Sinica, 2012, 32(10): 1031005.

引用列表

1、反射光谱拟合法确定聚合物半导体薄膜光学常数和厚度激光与光电子学进展, 2016, 53 (4): 43101

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3、氩气对类金刚石薄膜性能的影响激光与光电子学进展, 2014, 51 (9): 93101

4、利用多个标准样品校准光谱椭圆偏振仪光学学报, 2014, 34 (3): 312003

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李晓伟, 周毅, 孙丽丽, 汪爱英. 椭偏法表征四面体非晶碳薄膜的化学键结构[J]. 光学学报, 2012, 32(10): 1031005. Li Xiaowei, Zhou Yi, Sun Lili, Wang Aiying. Determination of Chemical Bond of Tetrahedral Amorphous Carbon Films by an Ellipsometry Approach[J]. Acta Optica Sinica, 2012, 32(10): 1031005.

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