光学学报, 2012, 32 (10): 1031005, 网络出版: 2012-07-17
椭偏法表征四面体非晶碳薄膜的化学键结构
Determination of Chemical Bond of Tetrahedral Amorphous Carbon Films by an Ellipsometry Approach
基本信息
| DOI: | 10.3788/aos201232.1031005 |
| 中图分类号: | O484.41 |
| 栏目: | 薄膜 |
| 项目基金: | 浙江省自然科学基金(Y4100312)、宁波市重大科技专项(2011B1016)和宁波市科技项目(2010D10015,2010A0203)资助课题。 |
| 收稿日期: | 2012-04-01 |
| 修改稿日期: | 2012-05-28 |
| 网络出版日期: | 2012-07-17 |
| 通讯作者: | 李晓伟 (lixw@nimte.ac.cn) |
| 备注: | -- |
李晓伟, 周毅, 孙丽丽, 汪爱英. 椭偏法表征四面体非晶碳薄膜的化学键结构[J]. 光学学报, 2012, 32(10): 1031005. Li Xiaowei, Zhou Yi, Sun Lili, Wang Aiying. Determination of Chemical Bond of Tetrahedral Amorphous Carbon Films by an Ellipsometry Approach[J]. Acta Optica Sinica, 2012, 32(10): 1031005.
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