椭偏法表征四面体非晶碳薄膜的化学键结构 | 光学学报 -- 中国光学期刊网

光学学报, 2012, 32 (10): 1031005, 网络出版: 2012-07-17

椭偏法表征四面体非晶碳薄膜的化学键结构

Determination of Chemical Bond of Tetrahedral Amorphous Carbon Films by an Ellipsometry Approach

李晓伟 ^*周毅孙丽丽汪爱英

作者单位

中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波市海洋防护材料与工程技术重点实验室, 浙江宁波 315201

薄膜化学键椭偏法磁过滤阴极真空弧四面体非晶碳 thin films chemical bond ellipsometry approach filtered cathodic vacuum arc tetrahedral amorphous carbon

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