红外与毫米波学报, 2016, 35 (2): 133, 网络出版: 2016-05-11
离子束溅射法制备碳化锗薄膜的红外光学特性和力学特性
The infrared optical and mechanical properties of germanium carbide films prepared by ion beam sputtering
离子束溅射沉积 碳化锗 红外光学特性 机械特性 ion beam sputtering deposition germanium carbon infrared optical property mechanical property
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