基于成像极化浊度计的颗粒粒径检测技术

潘新; 王章军; 孟祥谦; 王秀芬; 陈超; 邓伟; 刘兴涛; 李辉; 李先欣; 庄全风

doi:doi:10.3788/LOP57.092902

激光与光电子学进展, 2020, 57 (9): 092902, 网络出版: 2020-05-06

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Particle Size Detection Technology Based on Imaging Polarization Nephelometer

论文大纲

潘新王章军 ^*孟祥谦王秀芬陈超邓伟刘兴涛李辉李先欣庄全风

作者单位

齐鲁工业大学(山东省科学院),山东省科学院海洋仪器仪表研究所, 山东青岛 266001

颗粒粒径电荷耦合器米散射散射相函数 particle size charge-coupled device Mie scattering scattering phase function

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摘要

根据米散射理论,设计了以532 nm激光器为光源、CCD为探测器的极化浊度计。对粒径为2 μm的聚苯乙烯标准粒子(PSL)进行检测,得到了PSL的散射相函数,将其与偏振角为0°和90°的2 μm球形粒子的理论散射相函数进行对比,拟合度分别达到87.3%与88.4%。采用Chahine迭代算法反演得到PSL的粒径为1.94 μm,接近其真实值。将极化浊度计与宽范围颗粒粒径谱仪和扫描电镜的检测结果进行对比,结果表明,该装置检测精度高,且不受人为主观因素影响,对颗粒粒径的准确检测有重要意义,在相关领域应用前景较好。

Abstract

According to the theory of Mie scattering, a polarization nephelometer composed of 532 nm laser as light source and charge-coupled device as detector was designed. Standard polystyrene latex (PSL) particles with particle size of 2 μm was measured, and the scattering phase function of the PSL was obtained. Compared with the theoretical scattering phase function of 2 μm spherical particles with polarization angle of 0° and 90°, the fitting degree was 87.3% and 88.4%, respectively. Chahine iteration algorithm was used to inverse the particle size of the PSL, the measured particle size was 1.94 μm, which was close to the real particle size. The results of polar nephelometer were compared with those of wide range particle size spectrometer and scanning electron microscopy. The results show that the detection precision of the device is high and not affected by subjective factors. The device is of great significance for the accurate detection of particle size, which has good application potential in related field.

1 引言

颗粒作为物质存在的主要形式之一,构成了五彩斑斓的有机世界。随着科学技术的发展,颗粒在化工、建筑、环保等领域的应用越来越广泛,对颗粒粒径的准确检测是目前主要的技术难点^[1]。粒径大小是颗粒的主要参数,直接影响了其使用效果。颗粒粒径的检测手段逐渐成熟,包括筛分法、沉降法和显微镜法等传统方法,这些方法操作简单,但受人为主观因素影响大、准确度较低,无法满足检测要求^[2-4]。颗粒成像检测技术因具有精度高、可在线检测和操作简便等优点,逐渐成为该领域的研究热点。胡淼等^[5]根据米散射理论,利用CCD侧向激光雷达建立了PM_2.5颗粒的检测系统;Chen等^[6]利用线阵CCD搭建了激光粒度仪,对颗粒粒径进行了反演测量;Song等^[7]利用CCD探究了相对湿度对城市有机颗粒的影响;Mei等^[8-9]搭建沙氏激光雷达,利用多波长技术对PM_2.5、PM₁₀等大气污染颗粒进行了观测;孟祥谦等^[10]以水蒸气和氮气分别代表大、小粒子,通过成像极化浊度计进行了相关散射实验,实验结果与瑞利散射理论基本吻合。本文在此基础上利用极化浊度计以CCD成像的方式对粒径为2 μm的聚苯乙烯标准粒子(PSL)进行检测,保证高分辨率的同时还兼顾了检测的实时性。用散射相函数反演得到了PSL的粒径分布,并与宽范围颗粒粒径谱仪(WPS)和扫描电镜(SEM)的检测结果进行了对比,结果表明该装置的检测精度较高。

2 实验设备与方法

2.1 极化浊度计

实验设计的成像极化浊度计(IPN)原理如图1所示,发射端为一个线偏振的532 nm半导体激光器,探测器为CCD和鱼眼镜头,探测器在侧面接收颗粒散射图像。为避免强光散射引起CCD像元出现饱和,在光路中放置扩束镜,以增加散射光在CCD阵面成像的像元数量。由激光器发出光斑直径为5 mm的线偏振激光,通过1/2波片改变光束的偏振方向,电机与1/2波片相连,通过程序驱动电机,带动波片转动,使激光以偏振角为0°或90°方向发射,经反射镜导入扩束镜,扩束后再通过反射镜进入接收系统。将制冷CCD与鱼眼镜头放在接收室侧壁,通过鱼眼镜头(观测范围为10°~70°)接收散射光束。为避免光束发射到接收室侧壁产生的杂散光影响观测结果,在光路终止处安装消光池,最后使用计算机控制CCD进行数据采集与处理。按图像中各像素代表的实际光束位置依次取出各角度的散射光数据序列,并对数据灰度值进行处理,提取到其光强分布,得到相关散射相函数,通过反演算法得到颗粒粒径分布,最后在计算机显示原始图像与处理结果,该装置可实时在线获取颗粒散射光图像,反演颗粒粒径分布。

图 1. 极化浊度计装置示意图

Fig. 1. Schematic diagram of polarization nephelometer device

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2.2 宽范围颗粒粒径谱仪

选用美国MSP公司生产的WPS(1000XP)对2 μm的PSL粒径进行检测,该仪器由凝结核粒子计数器、激光粒子仪和微分电迁移率分析仪组成,粒径分析范围为5 nm~10 μm,激光器向PSL发射激光,产生散射光,散射光信号在弧度为20°~100°的球面镜内被光电倍增管收集,进而得到PSL的粒径范围。

2.3 扫描电镜

SEM是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微型观察仪器,可对物品进行微观成像。实验采用的SEM(Hitachi S-480)分别在不同倍数下观察PSL,并分析其微粒特征。

2.4 实验方法

实验以美国杜克科技公司提供的直径为2 μm的PSL(4K-02)为观测对象,将PSL置于气溶胶发生器中,以去离子水为分散剂,使PSL样品雾化,形成气溶胶体系,用氮气将PSL吹入成像极化浊度计中进行检测。成像极化浊度计向PSL发射波长为532 nm的激光,通过电机控制1/2波片,使激光以0°或90°的偏振态发射,利用CCD得到PSL的光谱图像,对散射光图像进行分析和反演,将实测的散射相函数与对应偏振角的理论散射相函数进行比较,得到PSL的粒径,并与WPS和SEM的检测结果进行对比,以验证该装置检测结果的准确性。

2.5 数据处理

激光通过颗粒时,会发生吸收和散射两种现象。以直径为2 μm的PSL为例,根据米散射理论对PSL样品的散射图像进行处理,得到其散射相函数。因粒子的粒径远大于入射光波长(532 nm),因此会发生米散射,样品室中的PSL在散射角为θ,与光源距离为d处的散射光光强可表示为^[11]

\begin{matrix} I (θ, λ, φ) = \frac{λ^{2}}{4 π^{2} d^{2}} I_{0} \int_{Dmin}^{Dmax} i_{1} (θ) si n^{2} φ + i_{2} (θ) co s^{2} φ] \cdot F (D) \cdot dD, (1) \end{matrix}

式中,D_max和D_min分别为PSL粒径的上限和下限,i₁和i₂分别为入射光强矢量垂直和平行于观测平面的强度分布函数,λ为激光波长,φ为散射光的偏振角,F(D)为PSL的粒径分布函数,可将(1)式离散为

\begin{matrix} I (θ_{n}, λ, φ) = \frac{λ^{2}}{4 π^{2} d^{2}} I_{0} \overset{N}{\sum_{n = 1}} [i_{1} (θ_{n}) si n^{2} φ + i_{2} (θ_{n}) co s^{2} φ] \cdot F (D_{n}), (2) \end{matrix}

式中,N为离散的个数,θ_n为散射角。建立入射光比值矩阵J

\begin{matrix} J = {[\frac{I (θ_{1}, λ, φ)}{I_{0}}, \frac{I (θ_{2}, λ, φ)}{I_{0}}, \dots, \frac{I (θ_{N}, λ, φ)}{I_{0}}]}^{T}, (3) \end{matrix}

式中,I₀为入射光光强,为方便计算建立散射系数矩阵T,其中的元素

\begin{matrix} t_{n} = \frac{λ^{2}}{4 π^{2} d^{2}} [i_{1} (θ_{n}) si n^{2} φ + i_{2} (θ_{n}) co s^{2} φ] 。 (4) \end{matrix}

粒径分布函数组成的矩阵F

\begin{matrix} F = {[F (D_{1}), F (D_{2}), \dots, F (D_{N})]}^{T} 。 (5) \end{matrix}

可将(2)式表示为

\begin{matrix} J = F \cdot T 。 (6) \end{matrix}

由于系数矩阵T为病态矩阵,无法直接求解,因此可通过独立模式算法或非独立模式算法来解决。相比非独立模式算法,独立模式算法不需提前知道颗粒粒径分布信息。因此,采用独立模式算法中的Chahine迭代算法对PSL粒径进行反演,Chahine迭代算法精度高且迭代模式简单,可满足本装置的检测要求。

设PSL的粒径分布列向量W⁽⁰⁾为初始值,则

\begin{matrix} \begin{matrix} W^{(k + 1)} = \{[T'.* (E . / E^{(k)})] . / sum (T)\} .* W^{(k)}, (7) \\ E^{(k)} = T W^{(k)}, (8) \end{matrix} \end{matrix}

式中,T为散射系数矩阵,sum(T)为列向量累加的光强,E为光强分布列向量,T'为散射系数矩阵T的转置矩阵,k为迭代次数,‘./’表示将各向量元素对应相除,‘.*’表示将各向量元素对应相乘。

虽然Chahine迭代算法在颗粒粒径反演中应用广泛,但该方法对噪声敏感、抗噪能力弱。因此需要使用去背景法和叠加平均法对图像进行校正,去除噪声以保证算法的准确性。将CCD实时观测的PSL散射图像以Tiff格式储存,通过Matlab软件从图像的灰度值中提取到其光强分布,得到其散射相函数,并与2 μm颗粒理论散射相函数进行对比,通过Chahine迭代算法反演得到粒子粒径及其粒径分布,最后对检测结果的准确度进行检验。

3 结果与讨论

3.1 PSL极化浊度计图像

使激光器以调制振幅的方式出光,通过编写的颗粒散射光采集软件获取颗粒的实时散射图像,用图像中各像素点的灰度值表示该点的散射光强度。图2(a)为大气气溶胶散射图像,大气气溶胶产生的散射,会对PSL的散射相函数产生一定的干扰。向样品室中由少到多再到饱和充入PSL,图2(b)为PSL低浓度时的散射图像,与背景散射图像相比,散射光强度明显增加,且出现了明显的振荡现象,结果与文献[ 14]相吻合^[14],此时可以认为样品室中已经存在PSL。图2(c)为PSL高浓度时的散射图像,与图2(a)相比,像素点增多且同一像素点的灰度值也明显增大。这证明了PSL浓度增大时,其引起的散射强度增加,且波动现象更为明显,振荡幅度更大。当散射图像基本不随时间变化时,认为样品室中的PSL已达到饱和。从图2(c)中观测得到的灰度值矩阵伪彩图存在较多的背景噪声和热噪声,周围也含有随机分布的散乱噪声信号,会对检测结果的精度造成一定影响。因此需要通过去背景法与叠加平均法减弱噪声影响,取20幅同一时间段图像灰度值矩阵的平均值,以图2(a)观测的大气气溶胶散射图像为背景,用PSL的平均灰度矩阵减去背景灰度矩阵,得到图2(d)。对比图2(d)、图2(c)可以看出,噪声信号的分布范围和密度都有明显减少,且噪声信号光强大小也有所减少,基本无较亮的噪声斑点,PSL散射图像的背景噪声基本消失。利用去背景法与叠加平均法,可有效去除自身热噪声和背景噪声,对基于极化浊度计的PSL散射信号的有效提取有重要意义^[12]。

图 2. 极化浊度计PSL粒子观测图像。(a)背景图像;(b)低浓度PSL散射光图像;(c)高浓度PSL散射光图像;(d)降噪后PSL散射光图像

Fig. 2. Image of PSL particles from polarization nephelometer. (a) Image of the background; (b) image of low-level PSL scattered light; (c) image of high-level PSL scattered light; (d) image of PSL scattered light after noise reduction

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3.2 WPS数据

WPS的检测结果如图3所示,图3(a)为大气气溶胶粒子与PSL的粒径浓度分布,可以看出大气气溶胶的粒径分布基本符合正态分布,较为集中且连续,粒径在0.03~0.30 μm内的粒子占大多数。由于样品室存在大气气溶胶,所以图3(a)显示的PSL粒径图中0.03~0.30 μm的粒子较多,PSL的粒径浓度曲线与大气气溶胶的粒径浓度曲线前半段基本吻合,区别是PSL粒径浓度曲在1.89 μm处出现一处尖峰,推测是由PSL发生米散射引起。图3(b)为大气气溶胶粒子与PSL的质量浓度分布,可以看出大气气溶胶粒子的质量浓度分布较为均匀,主要集中在0.20 μm处,最大为11.00 μg/mL,而PSL粒子,在1.89 μm处有一明显尖峰,数值为72.00 μg/mL,明显高于背景值;一般情况下大气密度为1.293 kg/m³,而PSL粒子密度大约为1050 kg/m³,远大于大气密度,导致PSL数量虽然不多,但质量浓度远大于大气气溶胶粒子的质量浓度,这从侧面验证了PSL已进入设备样品室。WPS对2 μm的PSL标准粒子的检测结果为1.89 μm,与实际粒径偏差为5.5%,原因是WPS本身存在一定的鞘气流量偏差,电压偏差以及仪器粒径分辨率有限^[13],同时考虑到PSL自身有±0.02 μm的误差,可以认为WPS测量的粒径与真实粒径存在的偏差在可接受范围内。

图 3. WPS观测结果。(a)颗粒粒径浓度;(b)颗粒质量浓度

Fig. 3. Observations results of WPS. (a) Particle size concentration of particulate matter; (b) mass concentration of particulate matter

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3.3 SEM数据

SEM可得到清晰的颗粒图像,并对颗粒粒径进行粗略评估,为了获得样品的真实粒径分布,通过SEM对PSL进行图像采集,以获取其真实的粒径分布,结果如图4所示。可以看出,PSL呈规则球形,表面光滑无褶皱,且颗粒粒径大体相似,趋近于单分散颗粒系。通过Nano Measure软件对PSL图像进行处理,统计分析得到的粒子粒径如图5所示,其中横坐标为颗粒粒径,纵坐标分别为颗粒粒径分布的累积频率与相对频率,可以看出PSL粒子的粒径大多集中在1.96~2.32 μm,最小粒径为1.96 μm,最大粒径为2.32 μm,平均粒径为2.06 μm,与PSL真实粒径接近,检测粒径略大于真实粒径,粒径偏差为3.15%。但扫描电镜检测过程繁琐,受主观因素影响较大,且价格昂贵,一定程度上限制了其在颗粒粒径检测领域的应用。

图 4. PSL标准粒子样品SEM图像。(a)原始图像;(b) SEM的放大图

Fig. 4. SEM images of PSL standard particle samples. (a) Original image; (b) enlarged image of SEM

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图 5. SEM对PSL粒径信息统计

Fig. 5. Statistics of PSL particle size by SEM

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3.4 极化浊度计检测结果

为方便比较,将测得的散射光光强与理论散射光光强进行归一化处理,图6(a)为偏振角为0°时2 μm的PSL理论散射相函数与极化浊度计实际测量的散射相函数。可以看出大气气溶胶散射相函数相对较为平滑,散射强度较小,总体呈散射光强度随角度增大而减小的趋势。PSL的散射相函数出现明显的波动现象,与文献[ 14]的结果基本一致。主要原因是颗粒粒径远小于入射光波长,散射光强在各个方向上分布相对比较均匀,不会产生起伏;随着粒子粒径的增大,散射相函数在各个角度的分布越来越复杂,振荡也越来越剧烈^[15-16],原因是实验中PSL粒径明显大于波长^[17];此外,根据3.1小节WPS的数据,大气气溶胶含有0.02~0.30 μm粒径不等的颗粒,这会对PSL的观测造成干扰,CCD接收到的数据为所有颗粒的散射光强叠加值,导致散射相函数趋于平滑。如图6(a)所示,PSL粒子散射能量的分布更多集中在10°~90°前向小角度范围内;在90°~170°的后向角度中,散射光强较小,振荡幅度也较小。与理论PSL散射相函数相比,极化浊度计测得的PSL散射相函数也存在振荡现象,且总体趋势与理论值相似,基本为散射光强度随角度增大逐渐减小的趋势,各个波峰位置有所偏差但基本保持一致。在10°~90°内,散射光强度逐渐减弱;在90°~170°范围内,主要为后向散射,散射光强度波动较大。图6(b)为偏振角为90°时的PSL散射相函数,极化浊度计数据与理论值基本保持一致,可以看出,散射光强度随角度的增大先减小后增大,当波长为532 nm的激光经过PSL粒子群后,散射光主要集中在前向小角度,且随着散射角的增大散射强度迅速减小,在90°~130°后向范围内粒子的散射强度非常小,在130°~170°内,散射光强度有所增加,后向散射逐渐增强。为了直观比较极化浊度计得到的PSL粒径与理论值的差异,通过Origin软件对检测值与理论值进行了相关性分析,图7(a)和图7(b)分别是偏振角为0°和90°时的对比结果,通过插值法将实测数据与理论数据的个数保持一致,将15°~175°区间内各个角度对应的实测散射光强度与理论散射光强度进行对比,其横轴为2 μm的PSL理论散射光强,纵轴为极化浊度计的检测值,可以看出本装置的实测值与理论值,有良好的相关性。偏振角为0°时检测值与理论值的相关系数为0.9351,均方根误差为0.8729;偏振角为90°时检测值与理论值的相关系数为0.9403,均方根误差为0.8842。由于样品室区域过大且样品浓度高,可能会产生一定的相干散射与复散射,对观测结果造成一定的干扰^[18],导致检测值与理论值有一点差异。

图 6. PSL的实测和理论散射相函数对比。(a)偏振角为0°;(b)偏振角为90°

Fig. 6. Comparison of measured and theoretical scattering phase functions for PSL. (a) Polarization angle is 0 °; (b) polarization angle is 90 °

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图 7. PSL标准粒子散射相函数理论值与测量值对比结果。(a)偏振角为0°;(b)偏振角为90°

Fig. 7. Comparison of theoretical and measured values of PSL particle scattering phase function. (a) Polarization angle is 0 °; (b) polarization angle is 90 °

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图 8. PSL粒径分布反演结果

Fig. 8. Inversion results of PSL particle size distribution

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提取所有PSL散射光图像的灰度值,处理后得到对应散射相函数,使用Chahine迭代算法反演得到对应的PSL粒径,结果如图8所示。可以发现,极化浊度计对标称粒径为2 μm的PSL的检测结果为1.94 μm,相对标准偏差为3%。同时,D10(一个样品的累计粒径分布数达到10%时对应的粒径)与D90为1.93 μm与2.02 μm,相对偏差均值小于5%,D50为1.94 μm,相对偏差小于3%,符合相应国家标准^[19]。三种仪器对PSL粒径的检测结果如表1所示,可以看出成像极化浊度计对PSL粒子的检测粒径与标称粒径最接近,准确性最高。此外,本装置在米散射理论基础上对颗粒粒径进行检测,通过Matlab得到米散射理论散射相函数,将其与检测值进行对比,而米散射理论适用范围与激光波长λ密切相关,通常采用无量纲尺度数α=2πr/λ作为判断标准,其中r为粒子半径,当0.1<α<50时,符合米散射定义。实验使用激光波长为532 nm,可推测出极化浊度计的观测范围为0.017~8.400 μm,这表明本装置在颗粒粒径检测领域的应用潜力较大。

表 1. PSL粒子检测结果

Table 1. PSL particle detection results

Method	WPS	SEM	IPN
Particle diameter /μm	1.890	2.063	1.940
Deviation /%	5.50	3.15	3.00

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4 结论

根据米散射理论,设计了基于CCD的极化浊度计,利用该装置对2 μm的PSL粒径进行检测,得到大角度的PSL散射图像。通过去背景法与叠加平均法消除背景噪音,得到其散射相函数;将检测结果与2 μm球形颗粒的理论散射相函数进行对比拟合,得到较好的线性相关性,通过Chahine迭代算法反演得到的粒径为1.94 μm。将检测结果与主流颗粒粒径检测装置进行对比,结果表明,该装置检测结果准确,不受主观因素影响,分辨率高同时还兼顾检测实时性,在颗粒粒径检测方面有较好的应用前景,可与传统方法相互补充,为颗粒粒径检测提供新思路。

致谢感谢中国科学院安徽光学精密机械研究所的李学彬老师提供宽范围粒径谱仪,为本文提供了粒径数据对比。

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1 引言

2 实验设备与方法

2.1 极化浊度计

图 1. 极化浊度计装置示意图

Fig. 1. Schematic diagram of polarization nephelometer device

2.2 宽范围颗粒粒径谱仪

2.3 扫描电镜

2.4 实验方法

2.5 数据处理

3 结果与讨论

3.1 PSL极化浊度计图像

图 2. 极化浊度计PSL粒子观测图像。(a)背景图像;(b)低浓度PSL散射光图像;(c)高浓度PSL散射光图像;(d)降噪后PSL散射光图像

Fig. 2. Image of PSL particles from polarization nephelometer. (a) Image of the background; (b) image of low-level PSL scattered light; (c) image of high-level PSL scattered light; (d) image of PSL scattered light after noise reduction

3.2 WPS数据

图 3. WPS观测结果。(a)颗粒粒径浓度;(b)颗粒质量浓度

Fig. 3. Observations results of WPS. (a) Particle size concentration of particulate matter; (b) mass concentration of particulate matter

3.3 SEM数据

图 4. PSL标准粒子样品SEM图像。(a)原始图像;(b) SEM的放大图

Fig. 4. SEM images of PSL standard particle samples. (a) Original image; (b) enlarged image of SEM

图 5. SEM对PSL粒径信息统计

Fig. 5. Statistics of PSL particle size by SEM

3.4 极化浊度计检测结果

图 6. PSL的实测和理论散射相函数对比。(a)偏振角为0°;(b)偏振角为90°

Fig. 6. Comparison of measured and theoretical scattering phase functions for PSL. (a) Polarization angle is 0 °; (b) polarization angle is 90 °

图 7. PSL标准粒子散射相函数理论值与测量值对比结果。(a)偏振角为0°;(b)偏振角为90°

Fig. 7. Comparison of theoretical and measured values of PSL particle scattering phase function. (a) Polarization angle is 0 °; (b) polarization angle is 90 °

图 8. PSL粒径分布反演结果

Fig. 8. Inversion results of PSL particle size distribution

表 1. PSL粒子检测结果

Table 1. PSL particle detection results

4 结论

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基于成像极化浊度计的颗粒粒径检测技术 下载： 1078次

1 引言

2 实验设备与方法

2.1 极化浊度计

图 1. 极化浊度计装置示意图

Fig. 1. Schematic diagram of polarization nephelometer device

2.2 宽范围颗粒粒径谱仪

2.3 扫描电镜

2.4 实验方法

2.5 数据处理

3 结果与讨论

3.1 PSL极化浊度计图像

图 2. 极化浊度计PSL粒子观测图像。(a)背景图像;(b)低浓度PSL散射光图像;(c)高浓度PSL散射光图像;(d)降噪后PSL散射光图像

Fig. 2. Image of PSL particles from polarization nephelometer. (a) Image of the background; (b) image of low-level PSL scattered light; (c) image of high-level PSL scattered light; (d) image of PSL scattered light after noise reduction

3.2 WPS数据

图 3. WPS观测结果。(a)颗粒粒径浓度;(b)颗粒质量浓度

Fig. 3. Observations results of WPS. (a) Particle size concentration of particulate matter; (b) mass concentration of particulate matter

3.3 SEM数据

图 4. PSL标准粒子样品SEM图像。(a)原始图像;(b) SEM的放大图

Fig. 4. SEM images of PSL standard particle samples. (a) Original image; (b) enlarged image of SEM

图 5. SEM对PSL粒径信息统计

Fig. 5. Statistics of PSL particle size by SEM

3.4 极化浊度计检测结果

图 6. PSL的实测和理论散射相函数对比。(a)偏振角为0°;(b)偏振角为90°

Fig. 6. Comparison of measured and theoretical scattering phase functions for PSL. (a) Polarization angle is 0 °; (b) polarization angle is 90 °

图 7. PSL标准粒子散射相函数理论值与测量值对比结果。(a)偏振角为0°;(b)偏振角为90°

Fig. 7. Comparison of theoretical and measured values of PSL particle scattering phase function. (a) Polarization angle is 0 °; (b) polarization angle is 90 °

图 8. PSL粒径分布反演结果

Fig. 8. Inversion results of PSL particle size distribution

表 1. PSL粒子检测结果

Table 1. PSL particle detection results

4 结论

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