光子学报, 2003, 32 (7): 892, 网络出版: 2007-09-17
部分相干分数域滤波改善光刻分辨率新方法
New Filtering Approach on Partial Coherent Imaging System for Improving Photolithography Resolution
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TN305 |
栏目: | 其它 |
项目基金: | 国家自然科学基金(69907003)和微细加工光学技术国家重点实验室的资助 |
收稿日期: | 2002-09-03 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2007-09-17 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
杜惊雷, 张怡霄, 杨静, 刘世杰, 肖啸, 郭永康, 杜春雷. 部分相干分数域滤波改善光刻分辨率新方法[J]. 光子学报, 2003, 32(7): 892. 杜惊雷, 张怡霄, 杨静, 刘世杰, 肖啸, 郭永康, 杜春雷. New Filtering Approach on Partial Coherent Imaging System for Improving Photolithography Resolution[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2003, 32(7): 892.