光子学报, 2003, 32 (7): 892, 网络出版: 2007-09-17
部分相干分数域滤波改善光刻分辨率新方法
New Filtering Approach on Partial Coherent Imaging System for Improving Photolithography Resolution
补充材料
杜惊雷, 张怡霄, 杨静, 刘世杰, 肖啸, 郭永康, 杜春雷. 部分相干分数域滤波改善光刻分辨率新方法[J]. 光子学报, 2003, 32(7): 892. 杜惊雷, 张怡霄, 杨静, 刘世杰, 肖啸, 郭永康, 杜春雷. New Filtering Approach on Partial Coherent Imaging System for Improving Photolithography Resolution[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2003, 32(7): 892.