白光干涉仪传递函数的成因分析及其非线性研究

刘乾; 袁道成; 何华彬; 吉方

doi:doi:10.3788/irla201746.0634002

红外与激光工程, 2017, 46 (6): 0634002, 网络出版: 2017-07-10

白光干涉仪传递函数的成因分析及其非线性研究

Determination and nonlinearity study of instrument transfer function of white light interferometer

刘乾袁道成何华彬吉方

作者单位

中国工程物理研究院机械制造工艺研究所, 四川绵阳621000

补充材料

刘乾, 袁道成, 何华彬, 吉方. 白光干涉仪传递函数的成因分析及其非线性研究[J]. 红外与激光工程, 2017, 46(6): 0634002. Liu Qian, Yuan Daocheng, He Huabin, Ji Fang. Determination and nonlinearity study of instrument transfer function of white light interferometer[J]. Infrared and Laser Engineering, 2017, 46(6): 0634002.