光刻投影物镜的琼斯光瞳检测方法

孟泽江; 李思坤; 王向朝; 步扬; 杨朝兴

doi:doi:10.3788/AOS201939.0312004

光学学报, 2019, 39 (3): 0312004, 网络出版: 2019-05-10

光刻投影物镜的琼斯光瞳检测方法下载： 1246次

Jones Pupil Measurement Method of Lithographic Projection Lens

孟泽江 ^1,2李思坤 ^1,2,*王向朝 ^1,2,*步扬 ^1,2杨朝兴 ^1,2

作者单位

¹ 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800

² 中国科学院大学, 北京 100049

引用该论文

孟泽江, 李思坤, 王向朝, 步扬, 杨朝兴. 光刻投影物镜的琼斯光瞳检测方法[J]. 光学学报, 2019, 39(3): 0312004.

Zejiang Meng, Sikun Li, Xiangzhao Wang, Yang Bu, Chaoxing Yang. Jones Pupil Measurement Method of Lithographic Projection Lens[J]. Acta Optica Sinica, 2019, 39(3): 0312004.

引用列表

1、基于有限元分析方法的深紫外波段熔石英应力双折射分析光学学报, 2021, 41 (12): 1226001

2、基于半隐式离散化的局部水平集掩模优化光学学报, 2021, 41 (9): 0911004

孟泽江, 李思坤, 王向朝, 步扬, 杨朝兴. 光刻投影物镜的琼斯光瞳检测方法[J]. 光学学报, 2019, 39(3): 0312004. Zejiang Meng, Sikun Li, Xiangzhao Wang, Yang Bu, Chaoxing Yang. Jones Pupil Measurement Method of Lithographic Projection Lens[J]. Acta Optica Sinica, 2019, 39(3): 0312004.

光刻投影物镜的琼斯光瞳检测方法下载： 1246次

关于本站 Cookie 的使用提示

全站搜索

光刻投影物镜的琼斯光瞳检测方法 下载： 1246次

相关论文

相关资讯

关于本站 Cookie 的使用提示

全站搜索

光刻投影物镜的琼斯光瞳检测方法下载： 1246次