光学学报, 2019, 39 (3): 0312004, 网络出版: 2019-05-10
光刻投影物镜的琼斯光瞳检测方法 
下载： 1246次
Jones Pupil Measurement Method of Lithographic Projection Lens
基本信息
| DOI: | 10.3788/AOS201939.0312004 |
| 中图分类号: | TN305.7 |
| 栏目: | 仪器，测量与计量 |
| 项目基金: | 国家科技重大专项、国家自然科学基金、上海市自然科学基金（17ZR1434100）、 |
| 收稿日期: | 2018-09-06 |
| 修改稿日期: | 2018-11-03 |
| 网络出版日期: | 2019-05-10 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
孟泽江, 李思坤, 王向朝, 步扬, 杨朝兴. 光刻投影物镜的琼斯光瞳检测方法[J]. 光学学报, 2019, 39(3): 0312004. Zejiang Meng, Sikun Li, Xiangzhao Wang, Yang Bu, Chaoxing Yang. Jones Pupil Measurement Method of Lithographic Projection Lens[J]. Acta Optica Sinica, 2019, 39(3): 0312004.
PDF全文
