半导体光电, 2019, 40 (3): 370, 网络出版: 2019-07-09
Ar气流量对磁控溅射AZO导电薄膜红外透光性能的影响
Influence of Ar Flow Rate on Infrared Transmittance of AZO Conductive Film by Magnetron Sputtering
基本信息
| DOI: | 10.16818/j.issn1001-5868.2019.03.015 |
| 中图分类号: | TB383.2 |
| 栏目: | 材料、结构及工艺 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金项目(61774084)；江苏省前瞻性联合研究项目(BY2016003-09)；江苏省科技成果转化专项资金项目(BA2017032) |
| 收稿日期: | 2019-01-07 |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2019-07-09 |
| 通讯作者: | 沈鸿烈 (hlshen@nuaa.edu.cn) |
| 备注: | -- |
魏齐, 沈鸿烈, 高凯. Ar气流量对磁控溅射AZO导电薄膜红外透光性能的影响[J]. 半导体光电, 2019, 40(3): 370. WEI Qi, SHEN Honglie, GAO Kai. Influence of Ar Flow Rate on Infrared Transmittance of AZO Conductive Film by Magnetron Sputtering[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2019, 40(3): 370.
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