扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测

刘兆武; 李文昊; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 李晓天; 吕强

doi:doi:10.3788/CJL201744.0104004

中国激光, 2017, 44 (1): 0104004, 网络出版: 2017-01-10

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Profile Online Detection for Two-Dimensional Stage x Axis Mirror in Scanning Exposure Systems

刘兆武 ^1,2,*李文昊 ²巴音贺希格 ²宋莹 ²姜珊 ²李晓天 ²吕强 ^1,2

作者单位

¹ 中国科学院大学大珩学院, 北京 100049

² 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所国家光栅制造与应用工程技术研究中心, 吉林长春 130033

补充材料

刘兆武, 李文昊, 巴音贺希格, 宋莹, 姜珊, 李晓天, 吕强. 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测[J]. 中国激光, 2017, 44(1): 0104004. Liu Zhaowu, Li Wenhao, Bayanheshig, Song Ying, Jiang Shan, Li Xiaotian, Lü Qiang. Profile Online Detection for Two-Dimensional Stage x Axis Mirror in Scanning Exposure Systems[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(1): 0104004.