中国光学, 2019, 12 (2): 371, 网络出版: 2020-02-11
飞秒脉冲激光对硅基多层膜损伤特性
Femtosecond pulsed laser induced damage characteristics on Si-based multi-layer film
基本信息
| DOI: | 10.3788/co.20191202.0371 |
| 中图分类号: | TN249 |
| 栏目: | 原创文章 |
| 项目基金: | 激光与物质相互作用国家重点实验室自主基金课题(No.SKLLIM-1502) |
| 收稿日期: | 2018-01-23 |
| 修改稿日期: | 2018-03-20 |
| 网络出版日期: | 2020-02-11 |
| 通讯作者: | 郑长彬 (zhengchangbin@ciomp.ac.cn) |
| 备注: | -- |
郑长彬, 邵俊峰, 李雪雷, 王化龙, 王春锐, 陈飞, 王挺峰, 郭劲. 飞秒脉冲激光对硅基多层膜损伤特性[J]. 中国光学, 2019, 12(2): 371. ZHENG Chang-bin, SHAO Jun-feng, LI Xue-lei, WANG Hua-long, WANG Chun-rui, CHEN Fei, WANG Ting-feng, GUO Jin. Femtosecond pulsed laser induced damage characteristics on Si-based multi-layer film[J]. Chinese Optics, 2019, 12(2): 371.
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