回转内圆柱面的非拼接干涉测量方法 | 红外与激光工程 -- 中国光学期刊网

红外与激光工程, 2017, 46 (7): 0717001, 网络出版: 2017-09-21

回转内圆柱面的非拼接干涉测量方法

Method of no stitching interferometric measurement for rotatory cylindrical surface

孙昊 ¹韩森 ^2,3唐寿鸿 ³王芳 ²

作者单位

¹ 长春理工大学光电工程学院, 吉林长春 130022

² 上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海 200093

³ 苏州慧利仪器有限责任公司, 江苏苏州 215123

Fizeau干涉仪回转圆柱面角锥反射镜误差校正 Fizeau interferometry rotatory cylinder surface axicon mirror errors calibration

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