激光与光电子学进展, 1983, 20 (2): 30, 网络出版: 2013-07-26
半导体制造业中激光技术的选择应用
摘要
目前Nd:YAG激光器正被应用于半导体制造业中若干费用比较合算的方面。本文简要地评论了其中三种应用：（1)利用连续泵浦重复Q开关Nd:YAG激光器切割功率器件的圆形模片；(2)利用小型被动Q开关脉冲泵浦Nd:YAG激光器来修整硬表面光掩模的缺陷；(3)利用具有内部二次谐波发生器的连续泵浦Nd:YAG激光器直接扩散掺杂剂以产生背面欧姆接触。
Abstract
参考文献
董仪光. 半导体制造业中激光技术的选择应用[J]. 激光与光电子学进展, 1983, 20(2): 30. 董仪光. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1983, 20(2): 30.
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