作者单位
摘要
光纤通信年度主题会议已成为报道纤维光学中最新发展的场所,今年的会议也不例外。在某些方面创新的步调好象放慢了,但是在另一些方面却有更多的新发展。
激光与光电子学进展
1984, 21(2): 16
作者单位
摘要
目前Nd:YAG激光器正被应用于半导体制造业中若干费用比较合算的方面。本文简要地评论了其中三种应用:(1)利用连续泵浦重复Q开关Nd:YAG激光器切割功率器件的圆形模片;(2)利用小型被动Q开关脉冲泵浦Nd:YAG激光器来修整硬表面光掩模的缺陷;(3)利用具有内部二次谐波发生器的连续泵浦Nd:YAG激光器直接扩散掺杂剂以产生背面欧姆接触。
激光与光电子学进展
1983, 20(2): 30

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