无机材料学报, 2020, 35 (7): 822, 网络出版: 2021-03-03   

Si3N4-ZrO2-La2O3系统反应合成ZrN及相图构建

Reaction Synthesizes of ZrN and Phase Diagram in the Si3N4-ZrO2-La2O3 System
作者单位
北方民族大学 材料科学与工程学院, 银川 750021
摘要
本工作研究了Si3N4-ZrO2-La2O3三元系统的相关系, 采用X射线衍射仪分析了物相组成。结果表明, 在1500 ℃/1 h/N2气氛条件下固相反应, 生成了ZrN和La4.67Si3O13、La5Si3NO12、La4Si2N2O7、LaSiNO2、La2Zr2O7等镧盐化合物的共存相。由于生成的氮化锆和硅酸镧等化合物不在Si3N4-ZrO2-La2O3三元系统内, 需引入SiO2测定SiO2-La2O3-ZrO2三元分系统相图, 进而扩大成Si3N4-ZrO2-La2O3-SiO2-ZrN五元系统, 本工作绘制并提出了此五元系统相图, 且提出了1570 ℃时SiO2-La2O3-ZrO2三元分系统实验相图。此外, 验证了La2O3在Si3N4-ZrO2-La2O3三元系统反应中促进Si3N4-ZrO2取代反应生成ZrN的作用。
Abstract
Si3N4-ZrO2-La2O3 ternary system were prepared via solid-state reaction at 1500 ℃ for 1 h with N2 protection, yielding coexistence phase of ZrN and lanthanum-based compounds, such as La4.67Si3O13, La5Si3NO12, La4Si2N2O7, LaSiNO2, and La2Zr2O7. Since the generated ZrN and lanthanum-based compounds are not located on the triangle plane of Si3N4-ZrO2-La2O3 system, it is necessary to add SiO2 to extend the ternary into quinary system of Si3N4-SiO2-La2O3-ZrO2-ZrN. After the phase diagram of this quinary system is confirmed and presented, the phase diagram of La2O3-SiO2-ZrO2 ternary subsystem at 1570 ℃ is further proposed for the first time. In addition, La2O3 in the Si3N4-ZrO2-La2O3 ternary system can help to simulate the substitution reaction between Si3N4 and ZrO2 to produce ZrN.

氮化锆(ZrN)具有许多优异的化学和物理性质, 如约3000 ℃的高熔点、高热稳定性、高硬度及良好的耐腐蚀性、耐磨性和优异的导热性等[1]。因此, 它通常用于切削工具[2]、挤压模具中的硬涂层[3]和扩散阻挡层[4]等。ZrN陶瓷的烧结通常采用无压烧结(PLS)、热压烧结(HP)和热等静压烧结(HIP)[5], 但由于ZrN陶瓷具有高熔点、强共价键和低自扩散系数的特性, 烧结温度通常很高, 难以烧结致密, 且抗氧化性能较差。

ZrN-Sialon复合材料结合了ZrN和Sialon的优点, 且具有一定的抗氧化性能。Li等[6]以ZrSiO4等为原料, 制备了ZrN-Sialon复合材料, 并分析了ZrO2-SiO2-Al2O3-C-N2凝聚相的平衡关系。Sun等[7,8]以SiC为碳源, ZrO2为锆源, 引入氧化物(MO)通过固相反应合成了ZrC/碱土硅酸盐复相陶瓷, 其机理是通过酸碱反应生成碱土硅酸盐, 从而促成ZrO2与SiC的元素置换, 并提出了Si-Zr-M (M=Mg、Ca)-O-C系统相图。Weiss等[9,10]研究了Si3N4-ZrO2系统在氮气氛下的反应机制和相关系, 并提出了反应(1)和(2):

同时, 在多项采用ZrO2增韧Si3N4陶瓷的研究中均发现生成了部分ZrN[11,12,13], 但此类研究多侧重于在高温反应中通过增加气氛中的N2压力和降低氧分压PO2使反应(1)进行。但Si3N4-ZrO2系统的反应会产生SiO, 增大烧失率[9,10]。Si3N4和ZrO2都是酸性化合物, 不能直接反应生成ZrN和SiO2, 本研究引入强碱性的稀土La2O3, 旨在通过与强酸性的Si3N4进行酸碱反应, 生成稀土硅酸盐用以固化SiO, 同时促成Si3N4与ZrO2之间的元素置换, 进而合成ZrN与硅酸盐的复合相。而该反应生成的硅酸盐相已在Si3N4-SiO2-La2O3三元系统中报道, 此系统存在La2O3•2Si3N4(1 : 2单斜)、2La2O3•Si2ON2(单斜J相)、La2O3•Si2ON2(六方K相)、镧磷灰石La4.67Si3O13 (OH)、含氮镧磷灰石La5Si3NO12 (NH)、硅酸镧La2O3•SiO2(1 : 1)和La2O3•2SiO2 (1 : 2), 且与三个端点组元形成12个三相共存三角区[14,15]。此外, 稀土硅酸盐陶瓷具有良好的抗水蒸气腐蚀性能和一定的抗氧化性能[16], 利于陶瓷整体性能的提升。本工作通过实验研究了Si3N4-ZrO2-La2O3系统的相关系, 并提出了Si-Zr-La-O-N系统平衡相图, 为制备ZrN复合陶瓷的组分(配方)设计提供依据。

1 实验方法

原料为ZrO2 (纯度≥99.0%, D50=100 nm), La2O3 (分析纯, D50<10 μm), α-Si3N4 (纯度≥99.9%, D50= 0.7 μm), SiO2 (分析纯, D50=5 μm)。氧化物粉料均在1150 ℃焙烧去除杂质相。设计14个配方, 用SZL表示Si3N4/ZrO2/La2O3不同比例的8个配方; 用S′ZL表示SiO2/ZrO2/La2O3不同比例的6个配方。采用玛瑙研钵手工干法混合原料, 混合时间为1 h/10 g, 采用 100 MPa干压成型为ϕ10 mm的素坯, 将样品置于石墨坩埚中采用高温烧结实验炉(HP-8X10-GG-2200-VM-G-15T型高温热压烧结炉)进行无压固相烧结。其中Si3N4-ZrO2-La2O3三元系统在1500 ℃/1 h/N2和1550 ℃/1 h/N2气氛下进行烧结, 而SiO2-La2O3-ZrO2三元系统在1570 ℃/ 1 h/N2气氛下进行烧结, 升温速率均为 20 ℃/min, 保温时间为1 h, 随炉降温。采用X射线衍射仪(日本岛津, XRD-6000型)分析样品的物相组成, 并依据物相关系绘制相图。

2 结果与讨论

强酸性Si3N4和偏酸性ZrO2在氮气氛下很难直接进行取代反应, 它需要超高温和低氧分压, 考虑引入强碱性化合物MO(如SrO[17])或R2O3(如La2O3)促进反应。本研究在Si3N4-ZrO2-La2O3系统中加入强碱性氧化镧La2O3, La2O3先与强酸性的Si3N4在较低的温度(1500 ℃)下进行酸碱反应, 使Si3N4结构分解成SiO和N, 在直接反应生成镧硅酸盐的同时, ZrO2可以和初生氮进行置换(氮化)反应, 生成ZrN。

由于Si3N4-ZrO2-La2O3三元系统的反应会形成某些硅酸盐, 它们将出现在含SiO2的子系统中, 故需引入SiO2组元研究扩大的五元系统Si3N4-ZrO2-La2O3-SiO2-ZrN的相关系。在此五元系统中, Si3N4-SiO2-La2O3三元子系统已有报道, 而SiO2-ZrO2-La2O3三元子系统的相关系尚未见报道。

2.1 SiO2-ZrO2-La2O3三元系统

SiO2-ZrO2-La2O3三元系统相图中已报道的三个二元子系统显示: SiO2-ZrO2系统生成ZrSiO4锆英石相[18,19], ZrO2-La2O3系统生成La2Zr2O7烧绿石相[20], 而La2O3-SiO2的强酸碱反应生成三种硅酸镧相, 即1 : 1、1 : 2和La4.67Si3O13镧磷灰石。为了弄清这些化合物之间的平衡关系, 设计了6个三元组成, 在1570 ℃/1 h/N2气氛下固相反应烧结, 样品的XRD图谱如图1(a~c)所示, 相组成分析结果见表1。由图1表1可知, 6个样品的相组成点都分别在三相共存三角区内, 使系统构成6个三相共存三角, 给出了SiO2-ZrO2-La2O3三元系统相图, 如图2所示。

表 1.

SiO2-La2O3-ZrO2系统样品在1570 ℃烧结后的相组成

Table 1. Phase compositions of the SiO2-La2O3-ZrO2 system after sintered at 1570 ℃

SampleSiO2/La2O3/ZrO2Phase composition(XRD analysis results*)
0.3S′0.5Z0.2L0.3/0.5/0.2La2Zr2O7(s)La2SiO5(m)La2O3(w)
0.43S′0.46Z0.11L0.43/0.46/0.11La2Zr2O7(s)La4.67Si3O13(s)La2SiO5(m)
0.2S′0.3Z0.5L0.2/0.3/0.5La2Zr2O7(vs)La4.67Si3O13(vs)ZrO2(w)
0.5S′0.3Z0.2L0.5/0.3/0.2La2Si2O7(vs)La4.67Si3O13(vs)ZrO2(w)
0.4S′0.1Z0.5L0.4/0.1/0.5ZrSiO4(vs)La2Si2O7(s)ZrO2(m)
0.7S′0.1Z0.2L0.7/0.1/0.2ZrSiO4(vs)La2Si2O7(m)SiO2(w)

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图 1. (a) 0.3S′0.5Z0.2L和0.43S′0.46Z0.11L, (b) 0.2S′0.3Z0.5L和0.5S′0.3Z0.2L及(c) 0.4S′0.1Z0.5L和0.7S′0.1Z0.2L系统样品在1570 ℃恒温1 h的XRD图谱

Fig. 1. XRD patterns of the samples of 0.3S′0.5Z0.2L and 0.43S′0.46Z0.11L (a), 0.2S′0.3Z0.5L and 0.5S′0.3Z0.2L (b),0.4S′0.1Z0.5L and 0.7S′0.1Z0.2L (c) sintered at 1570 ℃ for 1 h

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图 2. SiO2-La2O3-ZrO2三元系统在1570 ℃的相图

Fig. 2. Phase diagram of SiO2-La2O3-ZrO2 ternary system at 1570 ℃

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2.2 Si3N4-ZrO2-La2O3三元系统

Si3N4-ZrO2-La2O3三元系统固相反应可生成ZrN, 以二元Si3N4-ZrO2子系统为基础, 假设在1500 ℃/1 h/N2气氛保护条件下ZrO2全都用与Si3N4反应生成ZrN, 则设计了7个反应方程式如式(3)~(9)所示, 在此条件下测试了固相反应后样品的XRD图谱, 分析相组成结果如表2所示。

表 2.

Si3N4-ZrO2-La2O3系统1500 ℃烧结样品的相组成

Table 2. Phase compositions of the Si3N4-ZrO2-La2O3 system samples at 1500 ℃

SampleSi3N4/ZrO2/La2O3Phase composition(XRD analysis results*)
1S3Z3L1/3/3La5Si3NO12(s)La2Zr2O7(s)ZrN(m)
2S6Z3L2/6/3La4.67Si3O13 (vs)ZrN(vs)
ZrO2(vw)
3S9Z7L3/9/7La4.67Si3O13(vs)ZrN(m),
4S9Z10L4/9/10La5Si3NO12(vs)ZrN(m)
4S3Z6L4/3/6LaSiNO2 (vs)ZrN(w)La5Si3NO12(w)
4S3Z12L4/3/12La4Si2N2O7(vs)ZrN(w)La5Si3NO12(w)
8S3Z8L(1550 ℃)8/3/8LaSiNO2(vs)ZrN(w)La2Si6N8O3(w)

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Si3N4+3ZrO2+3La2O3=3ZrN+3La2SiO5+0.5N2(g) 2Si3N4+6ZrO2+3La2O3=6ZrN+3La2Si2O7+N2(g) $\text{3S}{{\text{i}}_{\text{3}}}{{\text{N}}_{\text{4}}}\text{+9Zr}{{\text{O}}_{\text{2}}}\text{+7L}{{\text{a}}_{\text{2}}}{{\text{O}}_{\text{3}}}\text{=9ZrN+3L}{{\text{a}}_{\text{4}\text{.67}}}\text{S}{{\text{i}}_{\text{3}}}{{\text{O}}_{\text{13}}}\text{+1}\text{.5}{{\text{N}}_{\text{2}}}(\text{g})$ $\text{4S}{{\text{i}}_{\text{3}}}{{\text{N}}_{\text{4}}}\text{+9Zr}{{\text{O}}_{\text{2}}}\text{+10L}{{\text{a}}_{\text{2}}}{{\text{O}}_{\text{3}}}\text{=9ZrN+4L}{{\text{a}}_{\text{5}}}\text{S}{{\text{i}}_{\text{3}}}\text{N}{{\text{O}}_{\text{12}}}\text{+1}\text{.5}{{\text{N}}_{\text{2}}}(\text{g})$ $\text{4S}{{\text{i}}_{\text{3}}}{{\text{N}}_{\text{4}}}\text{+3Zr}{{\text{O}}_{\text{2}}}\text{+6L}{{\text{a}}_{\text{2}}}{{\text{O}}_{\text{3}}}\text{=3ZrN+12LaSiN}{{\text{O}}_{\text{2}}}\text{+0}\text{.5}{{\text{N}}_{\text{2}}}(\text{g})$ $\text{4S}{{\text{i}}_{\text{3}}}{{\text{N}}_{\text{4}}}\text{+3Zr}{{\text{O}}_{\text{2}}}\text{+12L}{{\text{a}}_{\text{2}}}{{\text{O}}_{\text{3}}}\text{=3ZrN+6L}{{\text{a}}_{\text{4}}}\text{S}{{\text{i}}_{\text{2}}}{{\text{N}}_{\text{2}}}{{\text{O}}_{\text{7}}}\text{+0}\text{.5}{{\text{N}}_{\text{2}}}(\text{g})$ $\text{8S}{{\text{i}}_{\text{3}}}{{\text{N}}_{\text{4}}}\text{+3Zr}{{\text{O}}_{\text{2}}}\text{+8L}{{\text{a}}_{\text{2}}}{{\text{O}}_{\text{3}}}\text{=3ZrN+12LaSiN}{{\text{O}}_{\text{2}}}\text{+2L}{{\text{a}}_{\text{2}}}\text{S}{{\text{i}}_{\text{6}}}{{\text{N}}_{\text{8}}}{{\text{O}}_{\text{3}}}\text{+0}\text{.5}{{\text{N}}_{\text{2}}}(\text{g})$

将7个反应方程式的反应产物与XRD结果(见表2)相对照, 反应式(5)~(9)均可得到设计的生成物, 而Si3N4 : ZrO2的摩尔比为1 : 3的反应(3)和(4)未得到方程式预期产物La2SiO5(3)和La2Si2O7(4), 而是生成了La2Zr2O7(3)、La5Si3NO12(3)和La4.67Si3O13(4), 分析其原因: 对于反应(3), 氧分压PO2偏高的影响, 不是完全生成3 mol ZrN, 而是只生成了2 mol ZrN, 多出的ZrO2与La2O3反应生成烧绿石La2Zr2O7, 即反应(3′):

Si3N4+3ZrO2+3La2O3+3/4O2= 2ZrN+La5Si3NO12+0.5La2Zr2O7+NO(g)

可得到与XRD的分析相一致的结果; 对于反应(4), 其热力学计算结果表3显示, 可进行反应, 但在该反应条件下得到的产物是La4.67Si3O13(不是La2Si2O7), 已知La2O3-SiO2二元系统存在三个分子比的硅酸镧[La2SiO5 (1:1), La4.67Si3O13 (7 : 9, OH相), La2Si2O7 (1 : 2)], 它们在氮气氛中氧分压PO2偏高时常优先生成H相[15]; 同时, 高温会流失部分SiO, 使反应(4)中难生成La2Si2O7 (1 : 2)相, 而是生成含Si量较少的La4.67Si3O13 (H相), 部分ZrO2未参与反应, 其对应的相组成如图3所示, 反应(3)和(4)对应的配料点均落在Si3N4-ZrO2-La2O3三元系统相图(见图4)的子三元系统内。

表 3.

反应(4)的热力学计算结果

Table 3. Thermodynamic calculation results of reaction formula

T/℃ΔG/(kJ·mol-1)T/℃ΔG/(kJ·mol-1)
1400-122.5131600-139.531
1500-130.8931700-148.436

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图 3. 1S3Z3L和2S6Z3L系统样品在1500 ℃恒温1 h后的XRD图谱

Fig. 3. XRD patterns of the samples 1S3Z3L and 2S6Z3L after sintered at 1500 ℃ for 1 h

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图 4. Si3N4-ZrO2-La2O3三元系统在1500 ℃的相图

Fig. 4. Phase diagram of Si3N4-ZrO2-La2O3 ternary system at 1500 ℃

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根据Si3N4-SiO2-La2O3三元系统的相关系, 改变反应物配比, 仍可能生成方程式所预期的其它硅酸盐相。

表2可知, 7个反应均能合成ZrN和与之共存的La4.67Si3O13 (OH, 含氧磷灰石相)或La5Si3NO12(NH, 含氮镧磷灰石相), 说明 SiO2杂质乃至氧分压都偏高, 有利于磷灰石(H相)的生成, 这与WU等[15]的报道一致。修正反应(3)和(4), 加之反应(5)~(9)可得到预期生成物, 故可确定Si3N4-ZrO2-La2O3三元系统的相关系。当Si3N4 : ZrO2的摩尔比大于1 : 3时, 反应易生成含氮硅酸镧(J、K、NH或La2Si6O3N8 ), 因为Si3N4易同表面的SiO2杂质反应生成Si2ON2, 提供了更多的Si2ON2与La2O3 反应生成含氮硅酸镧, 该反应生成物的XRD图谱如图5(a~c)所示。但J和K不仅与ZrN共存, 且均含有一定量的NH相。由于SiO2杂质及氧分压PO2对反应体系的影响, Si3N4-La2O3的二元反应易在较低的温度下生成J、K或NH[14]。该反应在1500 ℃/1 h/N2气氛保护条件下2S0Z3L系统样品反应的XRD图谱如图5(c)所示, 可以推测, 当增加ZrO2含量时, 会促进NH相的生成。

图 5. (a) 3S9Z7L和4S9Z10L、(b) 4S3Z6L和4S3Z12L系统样品在1500 ℃恒温1 h后, 以及(c) 8S3Z8L系统样品在1550 ℃和2S0Z3L系统样品在1500 ℃恒温1 h后的XRD图谱

Fig. 5. XRD patterns of the samples (a) 3S9Z7L and 4S9Z10L, (b) 4S3Z6L and 4S3Z12L after sintered at 1500 ℃ for 1 h, and (c) 8S3Z8L after sintered at 1550 ℃ for 1 h and the samples 2S0Z3L after sintered at 1500 ℃ for 1 h

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立方烧绿石相La2Zr2O7可在较低的温度下生成, 由于它的结构中含有一定量的氧空位, 为氧离子和氮离子的扩散提供通道, 通过点缺陷结构的空位扩散, 能够提高Si3N4-ZrO2-La2O3三元系统的反应速率。

2.3 Si-Zr-La-O-N(Si3N4-ZrO2-La2O3-SiO2-ZrN)五元系统相关系

综上可见, 在Si3N4-ZrO2-La2O3系统组成中, 在1500 ℃/N2气氛下固相反应烧结生成ZrN均分别和某个硅酸镧(OH相、J、K、NH相或La2Si6O3N8相)或La2Zr2O7相(P, 烧绿石相)共存。然而, 共存的所有镧盐均不在原Si3N4-ZrO2-La2O3三元系统的三角平面内, 而是在含SiO2的Si3N4-SiO2-La2O3或SiO2-ZrO2-La2O3 三元系统三角平面内, 因此, 需要引入SiO2组元, 使其扩展为Si3N4-ZrO2-La2O3-SiO2-ZrN五元系统才能描述其完整的相平衡关系。

表2可知, ZrN可分别与La2Si6O3N8(8S3Z8L)和La2Zr2O7(1S3Z3L)相共存, 故在Si3N4-ZrN-La2O3系统生成ZrN-La2Si6O3N8 结线, 在ZrN-ZrO2-La2O3系统中存在ZrN-La2Zr2O7结线, 同时, ZrO2-Si3N4和ZrO2-Si2ON2结线在ZrO2-SiAlON系统中[9,10]存在, 由此提出了1500 ℃Si3N4-ZrO2-La2O3三元系统相图及由其扩展的Si3N4-ZrO2-La2O3-SiO2- ZrN(Si-Zr-La-O-N)五元系统相图, 如图4图6所示。

图 6. Si3N4-ZrO2-La2O3-SiO2-ZrN五元系统在1500 ℃的相图

Fig. 6. Phase diagram of Si3N4-ZrO2-La2O3-SiO2-ZrN quinary system at 1500 ℃

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3 结论

1) 在Si3N4-ZrO2-La2O3三元系统一步反应生成ZrN时, La2O3能够促进Si3N4-ZrO2取代反应, 生成ZrN, 并降低反应温度。

2) Si3N4-ZrO2-La2O3-SiO2-ZrN五元系统在1500 ℃/N2气氛下的相关系为ZrN分别和La4.67Si3O13、La5Si3NO12、La4Si2N2O7、LaSiNO2、La2Zr2O7等镧盐化合物共存, 从而形成许多二元结线、三元共存三角及四元相容性四面体。

3) 首次提出Si3N4-ZrO2-La2O3-SiO2-ZrN五元系统1500 ℃的实验相图和其中La2O3-SiO2-ZrO2三元氧化物子系统1570 ℃的等温截面实验相图, 为组分(配方)设计制备ZrN复相陶瓷提供参考。

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