基于软光刻的多层光互连垂直耦合结构

刘彦婷; 倪玮; 吴兴坤

光学学报, 2008, 28 (2): 349, 网络出版: 2008-03-24

基于软光刻的多层光互连垂直耦合结构

A Soft-Lithography-Based Vertically Coupling Structure for Multilayered Optical Interconnection

刘彦婷 ^*倪玮吴兴坤

作者单位

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室, 浙江杭州 310027

引用该论文

刘彦婷, 倪玮, 吴兴坤. 基于软光刻的多层光互连垂直耦合结构[J]. 光学学报, 2008, 28(2): 349.

Liu Yanting, Ni Wei, Wu Xingkun. A Soft-Lithography-Based Vertically Coupling Structure for Multilayered Optical Interconnection[J]. Acta Optica Sinica, 2008, 28(2): 349.

引用列表

1、聚硅氧烷改性及多模光波导制备光学学报, 2012, 32 (5): 531003

2、基于激光直写的微流光学触摸传感阵列光学学报, 2012, 32 (3): 313001

3、自由空间可重构光互连网络的光学矩阵运算中国激光, 2010, 37 (7): 1762

4、全排列无阻塞双榕树网光学实现方法设计中国激光, 2009, 36 (s2): 266

刘彦婷, 倪玮, 吴兴坤. 基于软光刻的多层光互连垂直耦合结构[J]. 光学学报, 2008, 28(2): 349. Liu Yanting, Ni Wei, Wu Xingkun. A Soft-Lithography-Based Vertically Coupling Structure for Multilayered Optical Interconnection[J]. Acta Optica Sinica, 2008, 28(2): 349.

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