光学学报, 2008, 28 (2): 349, 网络出版: 2008-03-24
基于软光刻的多层光互连垂直耦合结构
A Soft-Lithography-Based Vertically Coupling Structure for Multilayered Optical Interconnection
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TN256 |
栏目: | 光学器件 |
项目基金: | 国家自然科学基金(60477019,60577025)资助课题。 |
收稿日期: | 2007-05-28 |
修改稿日期: | 2007-10-12 |
网络出版日期: | 2008-03-24 |
通讯作者: | 刘彦婷 (rikfeng@163.com) |
备注: | -- |
刘彦婷, 倪玮, 吴兴坤. 基于软光刻的多层光互连垂直耦合结构[J]. 光学学报, 2008, 28(2): 349. Liu Yanting, Ni Wei, Wu Xingkun. A Soft-Lithography-Based Vertically Coupling Structure for Multilayered Optical Interconnection[J]. Acta Optica Sinica, 2008, 28(2): 349.