强激光与粒子束, 2004, 16 (7): 825, 网络出版: 2006-05-15
基于硅微加工技术的新型变形反射镜
Novel deformable mirror based on silicon micromachining technology
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | TN256 |
| 栏目: | 高功率激光与光学 |
| 项目基金: | 总装"十·五"基础研究基金项目资助课题(41321030202) |
| 收稿日期: | 2003-11-07 |
| 修改稿日期: | 2004-02-16 |
| 网络出版日期: | 2006-05-15 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
余洪斌, 陈海清, 张大成, 竺子民, 李婷. 基于硅微加工技术的新型变形反射镜[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16(7): 825. YU Hong-bin, CHEN Hai-qing, ZHANG Da-cheng, ZHU Zi-min, LI Ting. Novel deformable mirror based on silicon micromachining technology[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16(7): 825.
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