强激光与粒子束, 2004, 16 (7): 825, 网络出版: 2006-05-15
基于硅微加工技术的新型变形反射镜
Novel deformable mirror based on silicon micromachining technology
变形反射镜 体微加工 静电驱动 凸角补偿 阳极键合 Deformable mirror Bulk micromachining Electrostatic actuating Corner compensation Anodic bonding
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