1 华中科技大学 光电子工程系,湖北,武汉,430074
2 北京大学 微电子学研究所,微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100871
给出了一种基于硅微加工技术的新型变形反射镜的设计和加工方法.变形反射镜镜面主体是由一定厚度的硅膜构成,硅膜上表面溅射有一层Ti/Au,背面有一7×7阵列的台柱与之相连,台柱下方是对应的驱动电极.当给电极施加电压时,产生的静电力就会拉动台柱向下运动,从而使相应的镜面部分发生变形;通过控制通电电极的位置及电压,就可获得特定的镜面形状.在变形反射镜的加工工序中采用浅腐蚀形成键合台,采用深腐蚀加工出台柱.并采用<110>条补偿图形对台柱的凸角进行补偿,在0.2MPa气压下进行键合,最后成功研制出有效反射面积为30mm×30mm,拥有49个静电驱动单元的变形反射镜.
变形反射镜 体微加工 静电驱动 凸角补偿 阳极键合 Deformable mirror Bulk micromachining Electrostatic actuating Corner compensation Anodic bonding
