质子注入型光子晶体垂直腔面发射激光器制备

蒋国庆; 徐晨; 解意洋; 荀孟; 曹亚鹏; 陈弘达

doi:doi:10.3788/irla201645.1205001

红外与激光工程, 2016, 45 (12): 1205001, 网络出版: 2017-01-12

质子注入型光子晶体垂直腔面发射激光器制备

Fabrication of proton-implanted photonic crystal vertical cavity surface emitting laser

蒋国庆 ^1,*徐晨 ¹解意洋 ^1,2荀孟 ¹曹亚鹏 ²陈弘达 ²

作者单位

¹ 北京工业大学电子信息与控制工程学院光电子技术教育部重点实验室, 北京 100124

² 中国科学院半导体研究所, 北京 100083

图 & 表

蒋国庆, 徐晨, 解意洋, 荀孟, 曹亚鹏, 陈弘达. 质子注入型光子晶体垂直腔面发射激光器制备[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(12): 1205001. Jiang Guoqing, Xu Chen, Xie Yiyang, Xun Meng, Cao Yapeng, Chen Hongda. Fabrication of proton-implanted photonic crystal vertical cavity surface emitting laser[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(12): 1205001.