射频CO2激光陶瓷基板划片机光路设计及分析
侯廉平, 陈培峰, 王圩, 朱洪亮. 射频CO2激光陶瓷基板划片机光路设计及分析[J]. 激光技术, 2004, 28(2): 137.
侯廉平, 陈培峰, 王圩, 朱洪亮. The design of beam delivery system of RF CO2 laser ceramic substrate scriber[J]. Laser Technology, 2004, 28(2): 137.
[1] COLLEY A D,BAKER H J,HALL D R.A P L,1992,61(2):136～138.
[2] UDALOV Y B,TSKHAI S N,PETERS P J M et al.Gas Laser-Recent Developments and Future Prospects,1996,5(3):73～88.
[3] SPACHT D P,DEMARIA A J.Laser Focus World,2001,6(2):123～127.
[4] 浜崎正信.实用激光加工.北京:机械工业出版社,1992.192～193.
[5] 吕百达.激光光束学.成都:四川大学出版社,1992.105～107.
[6] 魏光辉,朱宝亮.激光束光学.北京:北京工业学院出版社,1988.201～202.
侯廉平, 陈培峰, 王圩, 朱洪亮. 射频CO2激光陶瓷基板划片机光路设计及分析[J]. 激光技术, 2004, 28(2): 137. 侯廉平, 陈培峰, 王圩, 朱洪亮. The design of beam delivery system of RF CO2 laser ceramic substrate scriber[J]. Laser Technology, 2004, 28(2): 137.
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