中国激光, 2020, 47 (9): 0901002, 网络出版: 2020-09-16
基于强化学习的准分子激光器能量控制算法研究 下载: 1010次
Energy Control of Excimer Laser Based on Reinforcement Learning
激光器 光刻 准分子激光器 强化学习 能量稳定性 剂量精度 lasers photolithography excimer laser reinforcement learning energy stability dose accuracy
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