中国激光, 2020, 47 (9): 0901002, 网络出版: 2020-09-16   

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Energy Control of Excimer Laser Based on Reinforcement Learning
孙泽旭 1,2冯泽斌 1,2周翊 1,2刘广义 1,2韩晓泉 1,2,*
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1 中国科学院微电子研究所光电研发中心, 北京 100029
2 中国科学院大学, 北京 100049
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孙泽旭, 冯泽斌, 周翊, 刘广义, 韩晓泉. 基于强化学习的准分子激光器能量控制算法研究[J]. 中国激光, 2020, 47(9): 0901002. Sun Zexu, Feng Zebin, Zhou Yi, Liu Guangyi, Han Xiaoquan. Energy Control of Excimer Laser Based on Reinforcement Learning[J]. Chinese Journal of Lasers, 2020, 47(9): 0901002.

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