中国激光, 2020, 47 (7): 0701020, 网络出版: 2020-07-10   

1160 nm光泵垂直外腔面发射激光器设计及制备 下载: 1329次特邀研究论文

Design and Fabrication of 1160-nm Optically-Pumped Vertical-External-Cavity Surface-Emitting Laser
作者单位
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所发光学及应用国家重点实验室, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学材料与光电研究中心, 北京 100049
图 & 表

图 1. VECSEL结构与芯片内部光场分布。(a) VECSEL系统示意图;(b)增益芯片内层光场分布

Fig. 1. VECSEL structure and light field distribution inside the chip. (a) Diagram of VECSEL system; (b) optical field distribution in inner layer of gain chip

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图 2. InGaAs量子阱的子能级分立

Fig. 2. Sub-energy-level separation of InGaAs quantum wells

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图 3. 不同光生载流子浓度下InGaAs量子阱的增益光谱

Fig. 3. Gain spectra of InGaAs quantum wells at different carrier concentrations

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图 4. InGaAs量子阱增益光谱对比

Fig. 4. Gain spectrum comparison of InGaAs quantum well

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图 5. VECSEL增益芯片反射谱

Fig. 5. Reflection spectrum of VECSEL gain chip

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图 6. 不同增益芯片温度下,VECSEL输出功率随泵浦功率的变化曲线

Fig. 6. Output power curve of VECSEL with pump power at different gain chip temperatures

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图 7. VECSEL系统输出光束强度的远场分布,插图为输出光斑的二维彩图

Fig. 7. Far field distribution of output beam intensity of VECSEL system, and the inset is 2D color map of output spot

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表 1不同VECSELs在相近波长处的参数对比

Table1. Comparison of parameters at similar wavelength of different VECSELs

MechanismTypes of semiconductor laserPeak power /mWLasing wavelength /nm
Mechanism in Ref.[29]Electrically pumped0.181170
Mechanism in Ref.[30]Electrically pumped1.531180
Mechanism in Ref.[31]Optically pumped10001160
Mechanism in Ref.[32]Optically pumped (QDs gain region)2.451148
Mechanism in Ref.[33]Optically pumped (DBR-free)20001150
Mechanism in Ref.[34]Optically pumped (DBR-free)2500(two VECSELs)1160
Proposed mechanismOptically pumped10231160

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张卓, 宁永强, 张建伟, 张继业, 曾玉刚, 张俊, 张星, 周寅利, 黄佑文, 秦莉, 刘云, 王立军. 1160 nm光泵垂直外腔面发射激光器设计及制备[J]. 中国激光, 2020, 47(7): 0701020. Zhang Zhuo, Ning Yongqiang, Zhang Jianwei, Zhang Jiye, Zeng Yugang, Zhang Jun, Zhang Xing, Zhou Yinli, Huang Youwen, Qin Li, Liu Yun, Wang Lijun. Design and Fabrication of 1160-nm Optically-Pumped Vertical-External-Cavity Surface-Emitting Laser[J]. Chinese Journal of Lasers, 2020, 47(7): 0701020.

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