光学 精密工程, 2013, 21 (9): 2244, 网络出版: 2013-09-25   

数字横向剪切干涉仪相移技术

Phase-shifting technology of digital lateral shearing interferometer
作者单位
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
引用该论文

何煦, 向阳. 数字横向剪切干涉仪相移技术[J]. 光学 精密工程, 2013, 21(9): 2244.

HE Xu, XIANG Yang. Phase-shifting technology of digital lateral shearing interferometer[J]. Optics and Precision Engineering, 2013, 21(9): 2244.

引用列表
1、 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法中国激光, 2018, 45 (8): 804008
2、 双工件台宏微交接系统设计及实验光学 精密工程, 2015, 23 (6): 1673

何煦, 向阳. 数字横向剪切干涉仪相移技术[J]. 光学 精密工程, 2013, 21(9): 2244. HE Xu, XIANG Yang. Phase-shifting technology of digital lateral shearing interferometer[J]. Optics and Precision Engineering, 2013, 21(9): 2244.

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