数字横向剪切干涉仪相移技术

何煦; 向阳

doi:doi:10.3788/ope.20132109.2244

光学精密工程, 2013, 21 (9): 2244, 网络出版: 2013-09-25

数字横向剪切干涉仪相移技术

Phase-shifting technology of digital lateral shearing interferometer

何煦 ^*向阳

作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林长春 130033

基本信息

DOI:	10.3788/ope.20132109.2244
中图分类号:	TH7443
栏目:	现代应用光学
项目基金:	科技部重大专项基金资助项目(No.2009ZX02202-005)
收稿日期:	2012-06-08
修改稿日期:	2012-08-30
网络出版日期:	2013-09-25
通讯作者:	何煦 (911max@sina.com)
备注:	--

何煦, 向阳. 数字横向剪切干涉仪相移技术[J]. 光学精密工程, 2013, 21(9): 2244. HE Xu, XIANG Yang. Phase-shifting technology of digital lateral shearing interferometer[J]. Optics and Precision Engineering, 2013, 21(9): 2244.