光学 精密工程, 2016, 24 (6): 1382, 网络出版: 2016-08-18
SOI压阻传感器的阳极键合结合面检测
Detection of anodic bonding joint surface for SOI piezoresistive sensor
基本信息
| DOI: | 10.3788/ope.20162406.1382 |
| 中图分类号: | TP212.12;TP23 |
| 栏目: | 微纳技术与精密机械 |
| 项目基金: | 国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2012AA041201)、 高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(No.20133201130003) |
| 收稿日期: | 2016-01-20 |
| 修改稿日期: | 2016-02-10 |
| 网络出版日期: | 2016-08-18 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
陈立国, 王挺, 李亚娣, 潘明强. SOI压阻传感器的阳极键合结合面检测[J]. 光学 精密工程, 2016, 24(6): 1382. CHEN Li-guo, WANG Ting, LI Ya-di, PAN Ming-qiang. Detection of anodic bonding joint surface for SOI piezoresistive sensor[J]. Optics and Precision Engineering, 2016, 24(6): 1382.
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